Hvað er líkamleg gufuuppsetning (PVD)
Líkamleg gufuútfelling (PVD) er tækni sem notar líkamlegar aðferðir við lofttæmisaðstæður til að gufa upp yfirborð fastra eða fljótandi efna í loftkennd atóm, sameindir eða jónuðu þau að hluta í jónir og settu síðan kvikmyndir með ákveðnum sérstökum aðgerðum á undirlagið í gegnum lágþrýstingsgas (eða plasma) ferli.
PVD tækni getur ekki aðeins lagt málmmyndir og álfilmur, heldur einnig samsettar, keramik, hálfleiðara og fjölliða kvikmyndir, og er ný framleiðslutækni með víðtækar horfur. Mjög harðar kvikmyndir sem framleiddar eru með þessari tækni hafa ekki aðeins mjög mikla hörku, heldur eru þær einnig útfjólubláar, ónæmar fyrir háum hita, mengunarlausum og hafa næstum núll losun. Þeir eru hentugur fyrir sérstakar afköstarkröfur eins og slitþol, oxunarþol, tæringarþol og sjálfsbyggingu á yfirborði verkfæra, hluta og núnings og slithluta og er ein efnilegasta og dýrmætasta tækni í nútímalegri yfirborðsverkfræði tækni.
Tegundir líkamlegrar gufuuppfellingar
|
Pvd |
Kostir |
Ókostir |
Forrit |
|
Tómarúm uppgufun |
● Einföld meginregla, þægileg notkun og auðveld stjórn á útfellingarstærðum ● Mikil hreinleiki kvikmynda, hentugur til að rannsaka eiginleika kvikmynda ● Hratt útfellingarhraði, mikil skilvirkni og hægt er að setja það samtímis á mörg undirlag ● Gildandi efni eru mörg ● Kostnaðurinn er lægstur í PVD |
Viðloðunin milli myndarinnar og undirlagsins er tiltölulega léleg og endurtekningarhæfni ferlisins er ekki mjög fullnægjandi. |
Tómarúm uppgufun er notuð við sjónræn truflunarhúð, spegilhúð, skreytingarhúð, hindrunarmyndir á sveigjanlegum umbúðaefni, leiðandi kvikmyndum, tæringarhúðun osfrv. Af háu og litlu ljósbrotsvísitöluefni. Þegar þeir eru settir af málmum er tómarúm uppgufun stundum einnig kölluð tómarúmsmálming. |
|
Sputtering útfelling |
● Góð viðloðun milli myndarinnar og undirlagsins ● Mikil hreinleiki myndarinnar ● Góður þéttleiki, engar svitahola ● Gildir um flest traust efni (sérstaklega efni með mikla bræðslumark), með fjölbreytt úrval af efni ● Sputtering útfellingarferlið hefur góða stjórnunarhæfni og endurtekningarhæfni og hentar iðnaðarframleiðslu |
● Búnaðurinn er flókinn og erfitt er að stjórna útfellingu ● Útfellingarhlutfallið er lágt ● Stefnuhyggjan er ekki eins góð og uppgufun tómarúms ● Sputtering markefnin eru venjulega dýr I |
Húðun á að byggja gler, endurskinshúðun á fjölliðum, segulmilmum á geymslu miðla, gegnsæjar leiðandi filmur á gleri og sveigjanlegum netum, þurrfilmum, slitþolnum húðun á verkfærum og skreytingar húðun. |
|
Jón útfelling |
● Góð viðloðun milli myndarinnar og undirlagsins ● Mikill þéttleiki ● Góð slit og tæringarþol ● Fjölbreytt efni notagildi |
● Stjórna þarf margar vinnslubreytur ● Það er erfitt að fá samræmda jónasprengju á yfirborði undirlagsins, sem leiðir til breytinga á eiginleikum kvikmynda ● undirlagið getur verið ofhitað |
Jónhúðun er notuð til að setja harða húðun, festan málmhúð, háþéttni sjónhúð og samræmi húðun samsettra efna á flóknum flötum. Notkun jónhúðunar til að setja álfilmur á íhluta í geimferðum er kölluð jón gufuútfelling. |
· Uppgufun tómarúms
Uppgufun tómarúm, einnig þekkt sem lofttegundar uppgufunarhúð, er algengasta og mikið notaða aðferðin við undirbúning kvikmynda. Meginregla þess er að nota ytri hita til að gufa upp filmuefnið (filmuefni) og fljótandi það, eða gufa það beint upp í loftkenndu ástandi og setja það á undirlagið til að mynda kvikmynd við tómarúmsskilyrði. Samkvæmt hitagjafa er hægt að flokka það sem: viðnám uppgufunarhúðun, rafeindgeisla (EB) -húðun, pulsed leysirútfelling (PLD), örvunarhituð uppgufun osfrv.
· Sputtering útfelling
Í tómarúmsumhverfi er það húðunartækni sem notar gaslosun til að búa til jónir (AR) og notar jákvætt hlaðna flúorjóna til að sprengja neikvætt hlaðna fast markefni til að valda því að markefnafrumeindirnar eru sputtar út og settar á yfirborð undirlagsins til að mynda kvikmynd. Tómarúm sputtering -málun er flokkuð í mismunandi gerðir í samræmi við mismunandi sputter -tæki: díóða, tríóða eða fjórfaldra sputtering, bein straumur eða útvarpsbylgjulínur, segulmagnaðir sputtering, viðbragðssputter, jóngeislaspúði osfrv. Meðal þeirra, segulmagnaðir plata plating er víða notaður, þar á meðal beinn straumur segulmagnaðir plötunarplöt Sputtering málun, ekki jafnvægis segulmagnaðir sputtering plating, pulsed beinn straumur magnetron sputtering plating, útvarps tíðni segulmagnaðir sputtering plating og miðlungs tíðni segulmagnaðir sputtering plating osfrv.
· Jónhúðun
Jónhúðun er ein ört vaxandi og mest notaða húðunartækni. Kvikmyndefnið (kvikmyndaefni) breytist frá föstu ástandi í loftkenndu ástandi á svipaðan hátt og uppgufunarhúðun eða sputtering málun, en loftkenndu kvikmyndefnið tekur þátt í ljóma losun ásamt vinnandi gasi við síðari flutninga, og sumt af því er jónað í jóna og rafeindir og jónir og hlutlausar agnir leggja á neikvæða hlaðna undirlag til að mynda kvikmynd. Í grundvallaratriðum er hægt að skipta jónhúðun í þrjá flokka: plasma jónhúð, boga gufuútfellingu og geisla jónhúð. Dæmigerði eiginleiki sem aðgreinir jónhúðun frá uppgufunarhúðun og sputtering málun er: ① Í jónhúðun, þá er loftkenndu filmuefnisatómið í sundur aðgreiningarferli, ② Í jónhúðun beitir undirlagið venjulega neikvætt hlutdrægni. Ef þessi tvö skilyrði eru uppfyllt er í grundvallaratriðum hægt að flokka húðunina sem jónhúðun.
Algeng forrit
Notkunarumhverfi eðlisfræðilegs gufuuppsetningar (PVD) eykst. Kvikmyndir eru venjulega flokkaðar í mismunandi flokka:
Litur PVD húðun: Auka endingu, fagurfræði og gildi vöru
Hágæða húðun: Hitþolinn/kaldur ónæmur/þrýstingur ónæmur/vatnsskala ónæmur/tæringarþolinn, lífsamhæfni
Demantur eins og kolefni: Hámarkaðu endingu, draga úr núningi eða bæta útlit
PVD króm í staðinn: Fallegur, endingargóður og öruggur valkostur við harða króm
Koparhúð: Hægt er að nota kopar fyrir einstakt útlit og bakteríudrepandi eiginleika
