Búnaður Lýsing:
· Inngangur búnaðar:
Tjáðu ferlið gassameindir sem fara í gegnum etshólfið brotnar niður og jónast til að framleiða plasma.
Tjáðu nokkra virka hópa í plasma bregðast efnafræðilega við yfirborði etta efnisins;
Tjáðu þunna filmu etsunarbúnað í gegnum púls/útvarpsbylgju aflgjafa, jákvæða jónir í plasma eru líkamlega sprengjuárásir á yfirborð etsefnisins, svo að hreinsa, breyta og ets yfirborð efnisins með blöndu af eðlisfræði og efnafræði.
· Kostir búnaðar:
Tjáðu öfgafullt lágt ætingarhitastig, til að uppfylla hitastigskröfur mismunandi sinnum, getur forðast hitauppstreymi og aflögun hvarfefna;
Hægt er að lyfta tvískiptum jón uppsprettu með báðum hliðum hólksins, auðvelt viðhald;
Tjáðu þunna filmu etsunarbúnað tileinkunar jóngeislahreinsunarheimild og einstök losunartækni, mikil plasmaþéttleiki, etshreinsunaráhrif eru góð, með góðri einsleitni;
Tjáðu viðvörun og vernd: Alhliða öryggisvernd felur í sér: Hitastig öryggisverndaraðgerð, ofhleðsluvernd, skammhlaupsbrotsvörn verndar, ýmsar aðgerðir við aðgerðir.
Umsóknarreit:
Express etchable efni: málmur, ekki málmur, ál, rafeindahlutir (einokkristallað kísill, myndlaus kísill, fjölsilikon, SOI), málmoxíð, nítríð, karbíð, keramik, polemers, ofurleiðandi efni o.s.frv.
Tjáðu það er hægt að nota sem kvikmyndavél fyrir DLC/TA-C kvikmyndir.
Hægt er að nota Express í: 3C neytandi rafeindatækni, rafrænum íhlutum, ljósfræði, flutningum, verkfæramóti, heimilistækjum, nýjum orku, læknisfræðilegum stofnunum og öðrum atvinnugreinum.
Áður en jón etsing eftir jón etsingu
maq per Qat: Þunn filmu etsunarbúnaður, framleiðendur etsunarbúnaðar í Kína, birgjar, verksmiðju
