Vöruyfirlit
Þessi rafeindageislauppgufun þunnfilmubúnaður er hannaður fyrir hár-nákvæmni líkamlega gufuútfellingu (PVD). Með því að nota einbeittan há-orku rafeindageisla til að sprengja frumefni, nær kerfið háum uppgufunarhraða fyrir há-bræðslumark-málma, oxíð og rafeindaefni.
Kerfið er byggt á eininga tómarúmsarkitektúr og rúmar fjöl-vasa rafeindabyssur, sérhannaðan undirlagsbúnað og háþróaða-vöktun á staðnum. Það þjónar rannsókna- og þróunarstofum og framleiðslulínum með mikla-afköstum sem krefjast strangrar stjórnunar á stoichiometri filmu, viðloðun og sjónvirkni.
-
![Hátæmi rafeindageisla uppgufunarbúnaður]()
Hátæmi rafeindageisla uppgufunarbúnaðurEBE-Series High Vacuum Electron Beam Vaporation System setur há-þunna filmu fyrir sjón-, hálfleiðara- og málmvinnslunotkun. Með því að beina segulfókusuðum rafeindageisla á upprunaefni inni í...sjá meira -
![Electron Beam Thin Film Deposition System]()
Electron Beam Thin Film Deposition SystemElectron Beam Thin Film Deposition System skilar stefnubundinni,-háttar PVD-vinnslu fyrir háþróaðar rannsóknir og iðnaðarframleiðslu. Með því að nota einbeittan, segulstýrðan rafeindageisla sem...sjá meira -
![Rafeindageisla tómarúmsuppgufunarbúnaður]()
Rafeindageisla tómarúmsuppgufunarbúnaðurÞetta rafeindageisla lofttæmisuppgufunarkerfi framkvæmir líkamlega gufuútfellingu (PVD) há-bræðslu-málma, oxíð og díselefni. Með því að beina fókusuðum rafeindageisla inn í vatns-kældan...sjá meira -
![Rafeindageisla þunnfilmuútfellingarbúnaður]()
Rafeindageisla þunnfilmuútfellingarbúnaðurÞetta iðnaðar rafeindageislaútfellingarkerfi notar segulfókusar rafeindabyssur (3 kW til 15 kW) til að beina há-orkuflæði inn í vatns-kælda koparaflinn. Með því að gufa upp há-upprunaefni við há-...sjá meira -
![Rafeindageislauppgufun þunnfilmukerfi]()
Rafeindageislauppgufun þunnfilmukerfiEBE-Röð rafeindageislauppgufunarkerfi er hannað fyrir eðlisfræðilega gufuútfellingu (PVD) há-bræðslu-málma, rafeinda og ljósefna. Með því að nota segulbeygjanlegan, einbeittan rafeindageisla beint...sjá meira -
![Rafeindageislauppgufun þunnfilmubúnaður]()
Rafeindageislauppgufun þunnfilmubúnaðurEBE-V600 serían er iðnaðar-fræðilega gufuútfelling (PVD) vettvangur hannaður fyrir nákvæma þunnt-filmuhúð á ljóshluta, hálfleiðarabúnaði og háþróuðum efnum. Með því að beina háum-orku,...sjá meira
Tæknilýsing
|
Parameter |
Forskriftarsvið |
Notes / Standard Configuration |
|
Fullkominn grunnþrýstingur |
< 5.0 × 10^-6 Pa |
Fæst með kryogenic eða turbo-sameindadæluhópum |
|
Stærðir kammers |
Sérsniðin (500 mm til 1200 mm innra þvermál) |
304L / 316L ryðfríu stáli, raf-fáður |
|
E-Byssuafleinkunn |
6 kW til 15 kW (Marg-vasasóparar) |
Forritanleg geislabeyging og fjöl-deigluskráning |
|
Innborgunarhlutfall |
0,1 nm/s til 10 nm/s |
Rauntíma-lokuð-lykkjustýring með kvarskristalskjá |
|
Samræmd filmuþykkt |
< ±1% to ±2% across standard substrates |
Plánetu- eða hvelfd undirlagsfesting með breytilegum snúningshraða |
|
Hitastig undirlags |
Umhverfisloft í 800 gráður |
Innbyggt geislunarhitun með PID hitauppstreymi |
Helstu eiginleikar búnaðar
Rafeindabyssa með mikilli-stöðugleika:
Er með segulbeygju og fjöl-punkta fókus til að koma í veg fyrir staðbundna ofhitnun upprunaefna og koma í veg fyrir spýtingu við hvarfgjörn uppgufun.
Modular deigluhönnun:
Útbúin með 4 til 6 -vasa vísitöluofnum, sem gerir útfellingu á mörgum lögum kleift án þess að rjúfa lofttæmi.
Háþróaður tómarúmslæsing:
PLC-stýrðir pneumatic lokar, sjálfvirk grófgerð/há-tæmisröð og samlæsingar vernda gegn bilun í kælivatni og rafmagnsfrávikum.
Lágt-mengunarklefi:
Innri hlífðarvörn notar raf-fágað ryðfríu stáli með færanlegum fóðrum til að draga úr agna fljótt og viðhalda.
Filmuefni og undirlag
Samhæft uppgufunarefni
Málmar: Au, Ag, Al, Ti, Cr, Ni, Pt, Cu, Mo, W
Rafmagn og oxíð: SiO2, TiO2, Al2O3, Ta2O5, HfO2, ITO
Tegundir undirlags
Kísilskífur (2 tommur til 12 tommur)
Optískt gler, brædd kísil og kvars hvarfefni
Sveigjanlegar fjölliðafilmur (pólýímíð, PET í gegnum rúlla-til-rúllueiningar)
Keramik hvarfefni (Al2O3, AlN)
Umsóknir
Optísk húðun:
Anti-endurskinshúð (AR) húðun, þröngar-bandsíur og há-endurkastsspeglar fyrir leysi- og ljóseindakerfi.
Hálfleiðaratæki:
Ómísk snertimyndun, hliðarmálmvinnsla og-lyftingarvinnsla fyrir öreindatækni.
Ljóstækni:
Gegnsætt leiðandi oxíð (TCO) lög og þunnar filmur fyrir OLED skjái og ljósafrumur.
Háþróuð R&D:
Kannandi þunn-filmu segullög, ofurleiðandi filmur og marg-laga heterobyggingar.
Sérstilling og kerfisstilling
Sérhvert þunnt-filmukerfi er stillt til að passa við sérstakar ferliuppskriftir og skipulag aðstöðu. Tiltækar verkfræðilegar aðlöganir eru:
Val á dælustafla:
Turbo-sameindadælur (TMP), cryopumps, eða olíu-dreifingarstillingar sem eru sérsniðnar að grunntæmi og afköstum.
Hlaða-Lássamþættingu:
Handvirk hleðslu-lás eða sjálfvirk fjöl-klefa klasakerfi til að viðhalda ofur-hári lofttæmisheilleika og auka afköst skúffu.
Í-Situ mælifræði:
Samþættingartengi fyrir litrófssporbaugamæla, sjónskjái eða gasgreiningartæki (RGA).
Stýrihugbúnaður:
Séreignað PLC/HMI tengi með uppskriftageymslu, gagnaskráningu og SECS/GEM samskiptareglum fyrir snjalla verksmiðjusamþættingu.
Framleiðsla og gæðaeftirlit
Skipagerð:
Öll lofttæmishólf gangast undir lekaprófun með helíummassarófsmæli með höfnunarþröskuldi < 1 × 10^-9 Pa·m³/s.
Heiðarleiki suðu:
TIG suðu framkvæmd undir óvirku gashlíf, fylgt eftir með óvirku yfirborði og vélrænni slípun til að draga úr losun.
Verksmiðjuviðurkenningarprófun (FAT):
72-klukkutíma samfelld þurr-prófun sem mælir dæluferla, rafbyssusópnákvæmni, viðbragðstíma samlæsinga og hitastöðugleika fyrir rimlakassa.
Fylgni og staðlar:
Framleitt samkvæmt ISO 9001 vottuðu gæðastjórnunarkerfi, með kerfum sem eru hönnuð til að uppfylla CE tilskipanir og viðeigandi SEMI (S2/S8) öryggis- og vinnuvistfræðileiðbeiningar.
Algengar spurningar
Við erum vel-þekkt sem einn af leiðandi framleiðendum og birgjum rafeindageislauppgufunar þunnfilmubúnaðar í Kína. Ef þú ætlar að kaupa sérsniðna rafeindageisla uppgufun þunnfilmubúnað framleidd í Kína, velkomið að fá verðlista frá verksmiðjunni okkar. Fyrir verðráðgjöf, hafðu samband við okkur.
