China Multi-Arc Ion Thin Film Equipment Manufacturers Suppliers Factory

Vöruyfirlit

Iðnaðar fjöl-bogajónahúðunarbúnaður hannaður til að setja á harða húðun, hagnýtar filmur og skrautlega PVD áferð á nákvæma íhluti. Með því að nota há-straum, lágspennu-tæmibogaútskrift, gufar kerfið beint upp föst markefni (Ti, Cr, Al, Zr). Þegar það er blandað saman við hvarfgjarnar lofttegundir (N2, O2, C2H2) myndar það þétt umbreytingarmálmnítríð, karbíð og oxíð beint á málmhvarfefni.

Þessi turnkey PVD lausn, sem er byggð á eininguðum lofttæmuhólfsarkitektúr, rúmar mismunandi framleiðsluskala-frá R&D lotuvinnslu til sjálfvirkrar,-afkasta innbyggðrar framleiðslu. Kerfið er fínstillt fyrir háa markmiðsnýtingu og lágan heildarkostnað (TCO) í samfelldu 24/7 iðnaðarumhverfi.

Multi-boga tómarúmútfellingarbúnaður
Þetta fjöl-boga lofttæmiútfellingarkerfi notar kaþódíska ljósbogajónahúðunartækni til að setja þétta,-viðloðun harða húðun á málm- og ó-málmhúðuð undirlag. Með því að slá lága-spennu,...
sjá meira
Fjöl-bogajónaútfellingarkerfi
The Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >80% jónun á föstu bakskautsefni,...
sjá meira
Multi-Arc PVD þunnfilmubúnaður
Iðnaðar Multi-Arc PVD kerfið notar há-eðlisfræðilega gufuútfellingu á kaþódískum boga til að setja þétta, stoichiometric harða húðun (eins og TiN, TiAlN, CrN og DLC) á málmundirlag. Þetta kerfi er...
sjá meira
Fjöl-bogajónaútfellingarbúnaður
Iðnaðar fjöl-bogajónaútfellingarkerfið myndar þéttar þunnar filmur með-viðloðun í gegnum há-straum, lág-kaþódbogauppgufun. Föst markefni (bakskaut) eru gufuð upp í hvarfgjörnu gaslofti (eins og...
sjá meira
Multi-Arc Ion Thin Film System
Industrial Multi-Arc Ion Thin Film System notar kaþódíska bogauppgufun til að setja þétt,-viðloðun keramik og málmhúð á málm- og málmblöndur. Með því að gufa upp föstu bakskautsefni í lofttæmi í...
sjá meira
Multi-Arc Ion þunnfilmubúnaður
Þetta fjöl-bogajónahúðunarkerfi notar uppgufun á kaþódískum boga til að setja þétta,-viðloðun harða húðun og hagnýtar þunnar filmur. Með því að slá há-straums-, lágspennuboga á föst...
sjá meira

Tæknilýsing

Parameter	Forskriftarsvið	Eining / Athugið
Stærðir kammers	Ф600 x 600 til Ф1500 x 1800	mm (sérsniðnar lóðréttar eða láréttar stillingar)
Fullkominn lofttæmiþrýstingur	<= 5.0 x 10^-4	Pa (Þurrdæla + Turbo-sameinda-/olíudreifingarsett)
Heimildir bakskautsboga	4 til 16 einingar	Rafsegulstýrðir eða síaðir bogagjafar (FCA)
Substrate Bias Power	0 til -1000	V (Advanced Pulsed DC / MF hlutdrægni)
Hitastig	Herbergishiti í 600	C (PID-stýrðir geislahitarar)
Samræmd útfelling	<= +/- 5%	Mælt með XRF yfir virkt vinnusvæði
Stjórnkerfi	PLC + iðnaðartölva	Sjálfvirk framkvæmd uppskrifta, SCADA gagnaskráning
Öryggi og samræmi	CE, ISO 9001	UL-samhæfðar rafmagnsgirðingar fáanlegar sé þess óskað

Fjöl-bogajónaútfellingarferli

Raunverulega gufuútfellingin starfar á ströngu, lokaðri-lykkju sjálfvirku verkflæði til að tryggja endurtekningu-í-lotu:

Rýming og losun:

Tómarúmsloftinu er dælt niður í grunnþrýsting sem nemur<= 5.0 x 10^-3 Pa, while substrate temperatures are ramped to eliminate surface volatiles.

Plasma æting (árás):

Argon gas er kynnt. Mikil neikvæð hlutdrægni er beitt á undirlagshaldarann og mynda Ar jónir sem sprengja yfirborðið til að sprauta burt innfædd oxíð og ör-mengun.

Bogauppgufun og jónun:

Jafnbogastraumur slær á bakskautið úr föstu málmi. Staðbundi bakskautsbletturinn nær miklum orkuþéttleika og gufar markefnið samstundis upp í há-þéttleika plasmastraum (jónunarhraði > 80%).

Hvarfandi útfelling:

Hvarfgóður lofttegundum er sprautað inn í plasmaflæðið við nákvæmlega stýrðan hlutþrýsting í gegnum Mass Flow Controllers (MFCs), sem myndar stoichiometric samsett filmur á snúnings hvarfefni.

Kæling og loftræsting:

Stýrð kæling á sér stað undir vörn gegn óvirku gasi áður en hólfið er loftræst, sem kemur í veg fyrir oxun nýhúðaðra hluta.

Filmuefni og húðunareiginleikar

Kerfið styður fjöl-málm bakskautsuppröðun, sem gerir mónólaga, marglaga, nanó-samsetta og hallafilmu arkitektúra kleift:

TiN (títanítríð):

Standard gullhúð; hörku 2200–2400 HV; núningsstuðull 0,4. Aðalnotkun: almenn skurðarverkfæri og vélrænir slithlutir.

TiAlN (títanálnítríð):

Hár-oxunarþol allt að 850 C; hörku 3000–3300 HV. Aðalnotkun: háhraða-þurrvinnsluinnlegg og vélarventlar.

CrN / CrAlN (krómnítríð):

Framúrskarandi tæringarþol og lágt innra álag; gegn-flogaeiginleikum gegn ó-járnmálmum. Aðalnotkun: móta mót, stimplahringa og textílvélahluta.

ZrN / TiCN:

Lítill yfirborðsgrófleiki (Ra<= 0.05 um); decorative stability and biocompatibility. Primary use: medical surgical instruments and premium sanitary hardware.

Umsóknir

Nákvæm skurðarverkfæri:

Endfräsar, borar, helluborð og vísitöluinnlegg sem krefjast lengri endingartíma verkfæra við mikið hitaálag.

Aflrás fyrir bíla:

Stimplapinnar, straumhlífar, eldsneytisinnsprautunaríhlutir og gírfletir sem krefjast minnkaðs núnings á mörkum og slitþols.

Mót og mót:

Plastsprautumót, stimplunarmót og-steypuinnsetningar sem krefjast mótstöðu gegn sliti á lími og hitaþreytu.

Aerospace hluti:

Túrbínublöð og títanfestingar sem starfa við árásargjarnt ætandi og-álagsumhverfi.

Sérstilling og kerfisstilling

Staðlaðar vörulistavörur passa sjaldan fullkomlega við sérstakar verksmiðjuuppsetningar. Búnaðarstillingar eru sérsniðnar út frá tiltekinni rúmfræði íhluta, markmiðum hringrásartíma og takmörkunum á aðstöðu:

Hólf rúmfræði:

Áthyrndur eða sívalur hólf úr ryðfríu stáli (SUS304/SUS316L) með tvöföldum-veggja vatns-kælijakka.

Upprunauppsetning:

Side-mounted or bottom-driven arc sources with magnetic steering coils to minimize macroparticle generation and ensure high cathode utilization (>60%).

Undirlagsfesting:

Snúningur reikistjarna (3-ás) eða eins snúnings kerfi knúin áfram af segulvökvaflæði til að tryggja samræmda húðun á flóknum 3D rúmfræði.

Valkostir fyrir dælustokk:

Rótarblásarar, snúningsdælur, frostdælur eða túrbósameindadælur sem eru stilltar til að mæta ströngum -dæluferlistíma.

Gæðaeftirlit og prófunarreglur

Sérhver vél gengst undir stranga verksmiðjusamþykkisprófun (FAT) fyrir sendingu, skjalfest til skoðunar kaupanda:

Tómarúmsheilleikapróf:

Helínlekaleit með massagreiningu (lekahraði<= 1 x 10^-10 Pa*m3/s).

Rafmagnsöryggi og innbrennsla-í:

72 klukkustunda samfelld þurrkeyrsla á aflgjafa, vatnskælingarlæsingar og PLC sjálfvirkni.

Staðfesting húðunar (innan-tilraunastofu):

Sýnakeyrslur prófaðar með Calo-prófi (filmuþykkt), Rockwell inndrætti (viðloðunarstyrkur) og nanóinndrátt (hörku).

Uppsetning, gangsetning og tækniaðstoð

Leiðbeiningar um undirbúning vefsvæðis:

Ítarlegar útlitsteikningar fyrir veitukerfi eru veittar fyrir kælivatnsrennsli/þrýsting, þjappað loft, útblástursloftræstingu og kröfur um rafstöng.

SAT & gangsetning:

Uppsetning á-stað (Site Acceptance Testing), lofttæmiskvörðun og grunnlínuuppskriftaafhending framkvæmd af háttsettum PVD ferliverkfræðingum.

Ferlaþjálfun:

Hjálpar-þjálfun stjórnenda þar sem farið er yfir bakskautsskiptaáætlanir, fyrirbyggjandi lofttæmiviðhald, bilanaleit og grunnuppskriftarfínstillingu.

Stuðningur við varahluta:

Mikilvægir slithlutar (bakskaut, hlífar, einangrunarefni og innsigli) á lager til að senda á heimsvísu innan 48 klukkustunda.

Algengar spurningar

Sp.: Hvernig bælir þú niður stóragnir (dropar) sem felast í fjöl-bogajónahúðun?

A: Við notum stillanleg segulstýrisvið ásamt fínstilltu bogastraumsbylgjuformi til að koma á stöðugleika á bakskautsbletti og draga úr dropalosun. Fyrir ofur-slétt sjón- eða læknisfræðileg forrit er hægt að samþætta kerfið við Filtered Cathodic Arc (FCA) uppsprettur.

Sp.: Hver er dæmigerður afgreiðslutími fyrir sérsniðna hólfastillingu?

A: Staðlaðar stillingar eru sendar innan 16 til 20 vikna. Alveg sérsniðnar hólfamál, sjálfvirk vélfærafræðileg hleðsluviðmót eða sérhæfð frostdælukerfi þurfa 24 til 30 vikur frá samþykki P&ID teikninga.

Sp.: Getur kerfið geymt margar húðunaruppskriftir fyrir mismunandi hlutafjölskyldur?

A: Já. Iðnaðar PLC stjórnkerfið geymir allt að 100 einstakar vinnsluuppskriftir. Þetta gerir sjálfvirka, -einni snertingar framkvæmd yfir gasmassaflæðisstýringar (MFC), hlutdrægni spennuhækkun, ljósbogastraumsröð og sérstaka skrefatíma.

Við erum vel-þekkt sem einn af leiðandi framleiðendum og birgjum fjöl-þunnfilmubúnaðar fyrir fjöl-bogajónir í Kína. Ef þú ætlar að kaupa sérsniðinn fjöl-bogajóna þunnfilmubúnað sem er framleiddur í Kína, velkomið að fá verðskrá frá verksmiðjunni okkar. Fyrir verðráðgjöf, hafðu samband við okkur.