Multi-Arc Ion Thin Film System

Industrial Multi-Arc Ion Thin Film System notar kaþódíska bogauppgufun til að setja þétt,-viðloðun keramik og málmhúð á málm- og málmblöndur. Með því að gufa upp föstu bakskautsefni í lofttæmi í gegnum há-straum, lágspennu-rafboga, jónar kerfið málmgufu sem hefur víxlverkun við hvarfgjarnar lofttegundir (eins og köfnunarefni, asetýlen eða súrefni) til að mynda stoichiometric samsett filmur.

Þessi vettvangur er hannaður fyrir stöðugt framleiðsluumhverfi og rúmar sérstakar verkfærabúnað fyrir lotuvinnslu á nákvæmni skurðarverkfærum, bílaíhlutum og slitþolnum iðnaðarbúnaði.

Magnetic-Stýribogakatóður:Segulsvið með lokuðum-lykkju leiða braut kaþódublettsins yfir markyfirborðið, eykur nýtingarhlutfall markmiðsins í yfir 60% og dregur úr myndun-maródropa.

Hröð bogabælingarhlutdrægni:Há-tíðni púlsskekkjubirgðir eru með hröðum boga-slökkvandi hringrásum til að koma í veg fyrir að staðbundnir ör-bogar skemmi yfirborð undirlags við hvarfgjörn útfellingu.

Tvöföld-stillingararkitektúr:Kerfisarkitektúr styður skjóta samþættingu á ójafnvægri segulómsputtering (UMS) bakskautum ásamt stöðluðum bogagjöfum fyrir blendingslagaútfellingu (td hallalög).

Sjálfvirk ferlistýring:PLC parað við iðnaðartölvu sem keyrir uppskriftar-stýringarhugbúnað, skráir hólfsþrýsting, gasmassaflæðishraða (MFC), undirlagsskekkju og ljósbogastraum í rauntíma fyrir rekjanleika lotunnar.

Pneumatic Vacuum Valving:Loftstýrðir hliðarlokar og hornlokar einangra hólfahluta, lágmarka viðhaldstíma og dælu-niðurlotur.

Kerfisrýming notar fjölþrepa uppsetningu- sem er hönnuð til að ná rekstrarþrýstingi innan 15 mínútna:

Gróft stig:Tveggja-vélrænar vélrænar dælur með snúningssveiflu fjarlægja aðal andrúmsloftið niður í 10 Pa.

Millistig:Rótarblásarar flýta fyrir rúmmálsfærslu til að brúa þverþrýstingssviðið.

Hátómastig:Olíudreifingardælur eða frostdælur/sameindadælur ná endanlegum grunnþrýstingi upp á 5,0 x 10^-3 Pa fyrir gasfyllingu og jónahreinsun.

Undirkerfi gasafhendingar:Fjöl-rása massaflæðisstýringar (MFC) metra háar-ferlislofttegundir (Ar, N2, C2H2, O2) með flæðistöðugleikaþol upp á +/- 1% í fullum mælikvarða.

Bakskautsmarkmið
Metallic Targets:Ti, Cr, Al, Zr, TiAl (50/50, 67/33 atómhlutföll), WC, ryðfríu stáli.

Hreinleikastaðall:>= 99.99% lofttæmi brætt og rúllað.

Undirlagsefni
Verkfærastál:H13, SKD11, M2, D2 (For-meðhöndluð og milduð undir lagningarhitastigi).

Karbíð:Sementuð wolframkarbíð (WC-Co).

Verkfræði málmblöndur:Títan málmblöndur (TC4), ryðfríu stáli (304/316), og kopar málmblöndur (háð innréttingu).

Nákvæm skurðarverkfæri:Útfelling TiAlN og AlCrN húðunar á sementuðum wolframkarbíð endafreslum og hellum nær yfirborðshörku upp á 3300 - 3500 HV. Gögn um sannprófun á vettvangi sýna 2,5x lengingu á slitlífi verkfæra við háhraða þurrvinnsluaðstæður.

Mót og mót:Yfirborðsherðing á H13 og SKD11 plastsprautumótum og stimplunarmótum til að koma í veg fyrir hitaþreytu, límslit og slit.

Bílaíhlutir:Lágt-núning, slitþolið-DLC (Diamond-Like Carbon) og CrN húðun sem er borið á stimplahringi, eldsneytissprautupinna og ventlalyfta til að draga úr núningsstuðlum á mörkum undir 0,1.

Hagnýtur vélbúnaður:Skreytt en samt slitþolið -áferð (TiCN, ZrN) fyrir hreinlætisbúnað fyrir iðnaðar og háþróaða- vélræna íhluti.

Verkfræðistillingar laga sig að takmörkunum aðstöðu og rúmfræði íhluta:

Hólf rúmfræði:Lóðrétt hola-gerð hleðslu eða lárétt framhlið-hleðsluhurðar.

Jigging innréttingar:Planetary, einn-snúningur eða sérsniðin gervihnattabúnaður sem er sérsniðinn að flóknum 3D rúmfræði vinnsluhluta.

Val á dælustafla:Stillingarvalkostir fyrir olíudreifingu, turbomolecular eða cryopump pakka eftir hreinherbergisstöðlum og dælu-stopptímamarkmiðum.

Gas- og orkusamþætting:Sérsniðnir rafspennir fyrir svæðisbundna netstaðla (td 480V/60Hz, 415V/50Hz) og samþættingu við miðstýrð útblástursskrúbbkerfi viðskiptavinar-hliðar.

Sérhvert útfellingarkerfi gangast undir stranga gæðaprófun áður en það er sent:

Helium lekagreining:Heildarrófsmælir, helíumlekaprófun gerð á öllum lofttæmishólfum og suðusaumum (lekahraði<= 1 x 10^-9 Pa*m^3/s).

Staðfesting rafmagnsöryggis:Einangrunarviðnám, samfellu jarðtengingar og háspennu rafspennuefni standast próf sem samræmast CE/IEC rafstöðlum.

Hagnýtur þurrhlaup:72 klst samfelld þurrhjólagangur á vélrænum snúningsbúnaði, pneumatic lokar og kælivatnstengingarskynjara.

Ferlissamþykkispróf:Sýnahúðun framkvæmd á framleiðslustöðinni til að sannreyna einsleitni filmuþykktar, hörku og viðloðun (klópupróf / Rockwell innskot).

Leiðbeiningar um undirbúning vefsvæðis:Yfirgripsmikil gögn um skipulag aðstöðu þar sem gerð er grein fyrir kröfum um hleðslu á gólfi, staðsetningu útblástursrása, stærð vatnsgreinarinnar og rafmagnsfallpunkta afhenta 4 vikum fyrir sendingu.

Gangsetning:Uppsetning á-stað, lofttæmiskvörðun og rafmagnstenging-framkvæmt af verkfræðingum á vettvangi.

Afhending ferli uppskrifta:Grunnlínuhúðunaruppskriftir (TiN, TiAlN) þróaðar, prófaðar og fluttar við samþykki verksmiðjunnar eða -við gangsetningu á staðnum.

Varahlutir og greining:Fjargreiningareining samþætt í PLC fyrir hraða bilanaleit, studd af staðbundinni birgðahaldi á mikilvægum innsigli, bakskautsmarkmiðum og hlífðarplötum.