Fjöl-bogajónaútfellingarbúnaður

Iðnaðar fjöl-bogajónaútfellingarkerfið myndar þéttar þunnar filmur með-viðloðun í gegnum há-straum, lág-kaþódbogauppgufun. Föst markefni (bakskaut) eru gufuð upp í hvarfgjörnu gaslofti (eins og N2, O2 eða C2H2) til að mynda stoichiometric efnasambandshúð. Þessi búnaður er hannaður fyrir háan jónunarhraða sem fer yfir 80% og gefur af sér einstaka bindingarstyrk filmu-til- undirlags sem hentar fyrir mikið vélrænt álag.

Segulsíuður bogatækni:Innbyggðir segulspólar beygja stóra-agnir og dropa frá undirlagsstraumnum og mynda ofur-slétta dropa-lausa yfirborð fyrir nákvæmni ljósfræði og skurðarverkfæri.

Lokað-gasflæðisstýring í lykkju:MKS massaflæðisstýringar stjórna hlutþrýstingi hvarfgjarns gass innan +/- 0.1 sccm stöðugleikaþröskulda á meðan á hvarfgefnum útfellingu stendur.

Stýring undirlagshita:Forritanlegir geislahitarabankar ásamt argon gaskælingu að aftan viðhalda hitauppstreymi undirlags á milli 150C og 600C.

Sjálfvirk ferliuppskriftir:PLC-undirstaða stjórnunararkitektúr sem framkvæmir fjöl-þrepa útfellingarreglur frá jónahreinsun, halla millilaga ætingu, til endanlegrar húðunar.

Grófdæla:Samsetning rótarblásara og vélrænnar dælur með snúningsvíxli (Leybold / Edwards grunnlína).

Hátæmisdæla:High-throughput diffusion pumps or magnetically suspended turbomolecular pumps (>= 3200 L/s).

Verðmat og lagnir:Pneumatic ryðfrítt-tæmilokar úr stáli, pneumatic hornlokar og elastómer-lokaðir KF/ISO flansar leka-prófaðir með helíummassagreiningu (<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).

Þrýstivöktun:Sameinaðir Pirani og Cold Cathode jónunarmælar veita rauntíma endurgjöf yfir andrúmsloftið til ofur-hára lofttæmissviða.

Markefni:Titanium (Ti), Chromium (Cr), Aluminum-Titanium (AlTi), Zirconium (Zr), Copper (Cu), Stainless Steel, and custom alloy targets (purity >= 99.95%).

Undirlagsefni:

• Cemented Carbides (WC-Co)
• Háhraðastál (HSS){{0}
• Álblendi (SKD11, 316L, 4140)
• Títan málmblöndur (Ti-6Al-4V)
• Verkfræðikeramik og hitaþolnar-ofurblöndur

Skurðar- og mótunarverkfæri:Útfelling TiAlN, AlCrN og TiCN húðunar á endafræsum, innsetningum, helluborðum og stimplunarmótum til að auka yfirborðshörku upp í 3200 HV og standast slípiefni.

Bílaíhlutir:Hörð kolefni (DLC) og CrN útfelling á stimplahringum, eldsneytisinnspýtingarpinnum og knastásum til að draga úr núningsstuðlum undir 0,1 við þurra keyrslu.

Læknisfræðilegar ígræðslur:TiN og ZrN lífsamhæfð dreifingarhúð á kóbalt-króm og títan hné- og mjaðmarliðum, sem lágmarkar útskolun málmjóna og myndun slitags.

Flugvélbúnaður:Oxunar-þolin hindrunarhúð fyrir hverflablöð og festingasamstæður sem starfa við hækkuð hitauppstreymi.

Hólf rúmfræði:Lóðrétt hola-gerð, lárétt fram-hleðsla eða tvöfaldur-hurðargangur-í gegnum stillingar sem eru sérsniðnar að núverandi-hæðarskipulagi verslunar.

Heimildasamþætting:Hybrid stillingar sem sameina bakskautsbogagjafa með ójafnvægum segulómsputtingum (Ums) bakskautum innan eins hólfa.

Jigging & innréttingar:Sérstakur plánetu- eða tvöfaldur-snúningur verkfærabúnaður sem hannaður er með CAD/FEM-hermi fyrir sérstakar rúmfræði íhluta (td langar útpressunarmót eða flóknar skurðskrúfur).

Gæðastjórnunarstaðlar:Hannað, framleitt og prófað samkvæmt ISO 9001:2015 gæðastjórnun og ISO 14001 umhverfisstjórnunarkerfum.

Aerospace & Medical Rekjanleiki:Ferlisstýringar og samskiptareglur um skjöl að fullu í samræmi við kröfur NADCAP AC7102 (Heat Treating/Surface Enhancement) sé þess óskað.

Heilleiki leka:Sérhvert tómarúmsskip gengst undir lekaprófun á helíummassalitrófsmæli áður en samsetningarmerkið er -af.

Rafmagnsöryggi:Hátt-einangrunarviðnámsprófun og samfelluprófanir á jarðtengingu í samræmi við CE/IEC staðla.

Keyra-af prófun:72-klukkutíma samfelld þurr-þolprófun á vélrænum snúningsdrifum, vatnskælingarflæðisrofum og PLC samlæsingarkerfum.

Afhending skjala:Prófunarvottorð fyrir efnisverksmiðjur (MTC), prófunarvottorð fyrir lofttæmi, lekaprófunarskírteini, rafkerfispakkar og NIST-rekjanlegar kvörðunarskýrslur.

Leiðbeiningar um undirbúning vefsvæðis:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow rates (>= 30 m^3/klst.), umhverfishitasvið, útblástursloftræsting og raforkufall (3-fasa, 380V/480V, 50/60Hz).

Rekstrarþjónusta:Vélræn staðsetning á-stað, samþættingu lofttæmdarlagna, rafmagnstengingu og grunnlínuuppskriftarfínstillingu framkvæmd af eldri verkfræðingum á vettvangi.

Þjálfun rekstraraðila:5-daga mikil þjálfun á staðnum sem fjallar um reglubundið viðhald, bilanaleit í lofttæmi, samskiptareglur fyrir markskipti og stillingar á færibreytum fyrir sérstakar kvikmyndabyggingar.

Varahlutabirgðir:Mikilvægir slithlutar (bakskauts einangrunarefni, dökk geimhlífar, kraftmikil innsigli og þráðaflokkar) eru á lager svæðisbundið til sendingar innan 48 klukkustunda.