Kína Arc Vaporation Thin Film Equipment Framleiðendur Birgjar Verksmiðja

Vöruyfirlit

Industrial Cathodic Arc Vaporation System er framleiðslu-einkunn líkamlega gufuútfellingar (PVD) vettvangur hannaður til að setja -slitþolna, tæringarþolna- og lítinn-núning harða húðun. Með því að nota lágspennu, háan-straumsboga, eru solid bakskautsmarkmið gufuð upp og jónuð samstundis á bakskautsblettinum, sem myndar mjög jónað málmplasma.

Þetta kerfi er hannað og framleitt samkvæmt ISO 9001 gæðastjórnunarstöðlum og CE-samræmistilskipunum og er stillt fyrir há-afköst húðunaraðgerða í verkfæraframleiðslu, bílaíhlutum og vélbúnaðargeirum í iðnaði. Staðlaðar stillingar samþætta fjöl-bakskautsuppsetningu með sjálfstæðri segulstýringu-sviðsstýringar, forritanlegum jafnstraums-/púlshlutföllum og sjálfvirkri lofttæmistýringu til að viðhalda stöðugri stoikiometri filmu og þéttri örbyggingu.

Arc Vaporation Thin Film System
Industrial Cathodic Arc Vaporation Thin Film System er hannað fyrir háa-útfellingu á þéttri, sterklega viðloðandi málmhúð, málmblöndu og keramikblöndu. Kerfið starfar með lágri-spennu,...
sjá meira
Bogagufun PVD búnaður
PVD kerfið til uppgufunar á bakskautboga í iðnaði notar lága-spennu og háan-straum rafboga til að gufa upp föst bakskautsmarkmið í lofttæmi. Þessi vélbúnaður nær málmjónunarhraða sem fer yfir 80%,...
sjá meira
Vacuum Arc Thin Film System
Industrial Vacuum Arc Thin Film System notar kaþódíska bogauppgufun til að setja þéttar, mjög viðloðandi málm-, ál- og keramikþunnar filmur. Há-straums-, lágspennubogi gufar upp föstu...
sjá meira
Þunnfilmubúnaður fyrir kaþódíska boga
Líkamleg gufuútfelling (PVD) kerfi sem notar staðbundna lágspennu-straumsboga til að gufa upp föst bakskautsmarkmið í fulljónað plasma. Hátt jónunarhlutfall (40%-80%) knýr þétta atómtengingu- og...
sjá meira
Bogauppgufunarútfellingarbúnaður
Industrial Physical Vapor Deposition (PVD) pallur hannaður fyrir háan-hraða myndun þéttrar, slitþolinnar- og hagnýtar harðrar húðunar. Með því að viðhalda háum-straumi, lágspennu-kaþódiskum...
sjá meira
Arc Vaporation Thin Film Equipment
Þetta uppgufunarkerfi fyrir bakskautsboga gufar upp föst bakskautsmarkmið með lágri-spennu, háum-straumsrafboga til að mynda fulljónað málmplasma. Í samanburði við staðlaða varmauppgufun eða...
sjá meira

Tæknilýsing

Parameter	Forskriftarsvið / staðlaðar stillingar
Stærðir kammers	Þvermál: 800 mm - 1800 mm (sérsniðin lóðrétt/lárétt skipulag)
Kammerefni	Tvöfaldur-veggaður SUS304 ryðfríu stáli með innri vatns-kælirásum
Fullkominn lofttæmiþrýstingur	<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups)
Bakskautsstillingar	4 til 12 rétthyrnd/hringlaga bogagjafar með rafsegulstýringu
Arc Power Supply	300A - 500Stöðugur stöðugur straumur, gára<= 2%
Substrate Bias Power	0 til -1000V stillanleg, pulsed bias tíðni 10 kHz - 100 kHz
Hitakerfi	Geislahitaraflokkur, hámarkshiti 600 gráður +/- 5 gráðu einsleitni
Snúningur vinnustykkis	Plánetu- eða tvíás snúningur knúinn áfram af segulvökvaflæði
Stjórnkerfi	PLC + iðnaðartölva, uppskriftar-drifin sjálfvirk röðunarstýring
Notkunarkröfur	Kælivatn: 0,25-0,35 MPa, 20-25 gráður; Afl: 380V/480V, 3-fasa, 50/60 Hz

Bogauppgufunarferli

Útfellingarferlið starfar undir ströngu verklagseftirliti til að tryggja heilleika filmunnar og viðloðun viðmóts:

Rýming og losun:

Tómarúmhólfið er dælt niður í grunnþrýstinginn. Undirlag eru hituð undir lofttæmi til að útrýma rokgjörnum yfirborði og rakaleifum.

Plasma æting (hreinsun):

Málmjónasprengingar (með því að nota títan eða krómmarkmiða) hreinsar yfirborð undirlagsins á atómstigi, fjarlægir innfædd oxíð og virkjar viðmótið.

Hvarfandi útfelling:

Hvarfandi lofttegundum (N2, CH4, O2) er sprautað inn í hólfið í gegnum massaflæðisstýringar (MFCs) til að hvarfast við málmplasmaflæðið (td Ti, Cr, AlTi) og mynda samsettar kvikmyndir eins og TiN, TiAlN eða CrN.

Kæling og loftræsting:

Eftir-útfellingarkæling á sér stað undir verndandi andrúmslofti af óvirku gasi fyrir loftræstingu í hólfinu og endurheimt hluta.

Filmuefni og undirlag

Stuðningur bakskautsmarkmið
Títan (Ti) og títan ál (TiAl):Grunnefni fyrir venjulegt TiN og TiAlN húðun með-oxunar-viðnámi (þolir oxun allt að 900 gráður).

Króm (Cr):Notað fyrir skrautáferð og tæringarþolin-CrN/CrC lög.

Sirkon (Zr) og títankísill (TiSi):Notað fyrir sérhæfðar skreytingar og mjög slitþolnar-nanocomposite filmur.

Samhæft undirlagsefni
Háhraðastál (HSS):Snúningsborar, endafresar, helluborð og brúsar.

Cemented Carbides (WC-Co):Vísihæfanleg innskot, reamers og mótunarmót.

Verkfræðistál og málmblöndur:Bílalokaíhlutir, gírar, hreinlætisbúnaður úr ryðfríu stáli og lækningaígræðslur úr títan.

Forrit og áhrif á árangur

Málmskurðarverkfæri:

Útfelling TiAlN og AlCrN húðunar á karbítinnskotum og endafræsum, lengir endingartíma verkfæra um 200% til 300% og gerir þurra háhraða vinnslu kleift.

Mótunar- og stimplunarmatur:

Notkun á þéttri,-lítinn núningshúðun til að draga úr sliti á lími, sliti og festingu á vinnustykki við djúpteikningu, sem dregur úr stöðvunartíma um allt að 40%.

Aflrás fyrir bíla:

Meðhöndlun á stimplahringum, bensínsprautupinnum og töppum til að lágmarka núningsstuðul niður í < 0,15 og koma í veg fyrir slit.

Iðnaðarvélbúnaður og hreinlætisblöndunartæki:

Harð skrautleg PVD lög (TiN gull, rósagull, svart sirkon) standast lágmark 500 klukkustunda hlutlaust saltúðapróf (ASTM B117).

Sérstillingar og ferlistillingar

Útlit búnaðar skalast eftir framleiðslumagni, rúmfræði hluta og fótspor verksmiðjunnar:

Hólf rúmfræði:

Lóðrétt hleðsluvirki fyrir þung verkfæri; láréttar lotustillingar fyrir há-hleðslu innréttinga.

Heimildasamþætting:

Hybrid stillingar sem sameina bakskautsbogagjafa og ójafnvægi segulsviðssputtering (RMS) bakskaut til að setja sléttan, dropalausan-fjöllaga arkitektúr.

Síunarkerfi:

Valfrjálsar segulmagnaðir stóragnasíur (stýrðar bogasíur) settar upp á bakskautsrásir til að útrýma stór-dropum fyrir sjónræna eða ofur-slétta, nákvæma hagnýta húðun.

Sjálfvirkniviðmót:

Samþætting-tilbúin fyrir vélfærafræðilega hleðsluarma og sjálfvirka stýrið farartæki (AGV) lotustillingu.

Framleiðsla og gæðaeftirlit

Uppbyggingarheiðarleiki:Hólf líkamar gangast undir lekaprófun á Helium massarófsmæli við næmniþröskuld á<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.

Rafmagnsöryggi og samræmi:Byggt nákvæmlega samkvæmt CE og IEC rafmagnsöryggisleiðbeiningum, með fullri einangrunarprófun og neyðaröryggislásum.

Functional Run-off (FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / Rockwell inndráttur HF1-HF2) eru staðfestar á stöðluðum prófunarmiðum fyrir sendingu.

Uppsetning og tækniaðstoð

Undirbúningspakki fyrir vef:

Yfirgripsmiklar útlitsteikningar fyrir veitu sem lýsa flæðihraða kælivatns, útblástursloftræstingu, gólfhleðslugetu og forskriftir um rafmagnsfall afhentar 4 vikum eftir -samning.

Í notkun á-stað:

Verksmiðju-viðurkenndir ferliverkfræðingar sjá um vélræna uppröðun, uppgötvun í lofttæmi, rafmagnssamþættingu og upphafsuppsetningu uppskrifta á aðstöðu viðskiptavinarins.

Flutningur uppskrifta:

Afhending inniheldur staðlaðar grunnuppskriftir (TiN, TiAlN, CrN) og rekstrarþjálfun fyrir innra viðhalds- og verkfræðiteymi.

Fjargreiningarstuðningur:

Kerfi búin öruggum iðnaðarleiðargáttum fyrir bilanaleit á ytri færibreytum og PLC rökfræðigreiningu.

Algengar spurningar

Sp.: Hvernig stjórnar kerfinu myndun stóragna (dropa) sem fylgir uppgufun ljósboga?

A: Búnaðurinn notar stillanlegar segulsviðsstýrispólur til að færa bakskautbogablettinn hratt yfir markyfirborðið, sem dregur úr dvalartíma og dropaútfalli. Fyrir forrit sem krefjast ofur-sléttrar áferðar, valfrjálsar síaðar bogaeiningar sveigja málmplasma með segulmagni frá stórögnum áður en þær ná til undirlagsins.

Sp.: Hvert er dæmigert marknýtingarhlutfall fyrir staðlaða bakskautsstillingu?

A: Stöðluð hringlaga og rétthyrnd bakskaut ná markmiðsnýtingarhlutfalli efnis upp á 40% til 55%, allt eftir segulsviðssniði og markþykkt. Skipting miða er vélrænt tryggð með hröðum-klemmubúnaði til að lágmarka viðhaldstíma.

Sp.: Er hægt að samþætta þennan búnað í núverandi sjálfvirka framleiðslulínu?

A: Já. PLC stjórnunararkitektúrinn styður SECS/GEM samskiptareglur og staðlaða stafræna I/O handataka fyrir samþættingu við sjálfvirkar forhreinsunarlínur og vélfærafræðilegar hleðslufrumur.

Sp.: Hver er staðall leiðtími fyrir sérsniðna hólfastillingu?

A: Stöðluð lóðrétt lotukerfi þurfa 16 til 22 vikur frá því að samþykki er dregin til staðfestingarprófunar frá verksmiðjunni (FAT), allt eftir sérsniðnum forskriftum dæluhóps og fyrirkomulagi aflgjafa.

Við erum vel-þekkt sem einn af leiðandi framleiðendum og birgjum þunnfilmubúnaðar fyrir ljósbogauppgufun í Kína. Ef þú ætlar að kaupa sérsniðna bogauppgufun þunnfilmubúnað framleidd í Kína, velkomið að fá verðskrá frá verksmiðjunni okkar. Fyrir verðráðgjöf, hafðu samband við okkur.