Þetta uppgufunarkerfi fyrir bakskautsboga gufar upp föst bakskautsmarkmið með lágri-spennu, háum-straumsrafboga til að mynda fulljónað málmplasma. Í samanburði við staðlaða varmauppgufun eða segulmagnaðir sputtering, skilar þetta PVD ferli meiri plasmaþéttleika og betri filmu-við-viðloðun undirlags, sniðin fyrir virka, slitþolna og skrautlega harða húðun.

Tæknilýsing

Parameter	Forskriftarsvið / gildi
Stærðir kammers	Sérsniðnar sívalnings-/kassastillingar (Staðal: Φ600mm x 600mm til 1200mm x 1200mm)
Fullkominn lofttæmiþrýstingur	<= 5.0 x 10^-4 Pa (Turbo-molecular and rotary vane/roots pump suite)
Dæla-Niðurtími	Andrúmsloft að 8,0 x 10^-3 Pa in<= 15 minutes (Dry, clean, empty chamber)
Arc Power Supplies	Púls- og DC rafalar (úttak: 0 - 200Stillanlegt, gára<= 1%)
Bakskautsheimildir	2 til 6 segulmagnaðir-síaðir eða venjulegir hringlaga/ferhyrndir stýribogagjafar
Forspenna undirlags	0 - -1000V DC/Pulsed bias (tíðni: 10 - 100 kHz)
Snúningur undirlags	Plánetu eða einn ás snúningsbúnaður (1 - 15 RPM) með vatns-/rafmagnsflæði
Rekstrarstýring	PLC + iðnaðartölva með sjálfvirkri framkvæmd uppskrifta og handvirkum samlæsingum

Helstu eiginleikar

Segulsíunar heimildir:Innri segulrásir beygja sameinaða ördropa frá gufuflæðinu og tryggja lágan yfirborðsgrófleika (Ra) fyrir nákvæma hluta.

Lokað-Loop Bias Control: Synchronized pulsed bias regulation manages ion bombardment energy dynamically, relieving residual internal stress in thick ceramic coatings (>10 um).

Hátt jónunarhraði:Skilvirkni plasmajónunar nær 40% - 80%, knýr þétta efnatengingu án utanaðkomandi útvarpsbylgjur.

Modular Chamber Design:Framleitt úr 304/316L ryðfríu stáli með raf-fáguðum innri yfirborði (Ra<= 0.4 um), minimizing outgassing and vacuum cycle times.

Vacuum System Configuration

Gróf- og rótardælur:Tveggja-snúningsdælur, paraðar við vélræna örvunarblásara, sjá um upphaflega grófgerð og mikið gasálag við hvarfgjarna N2 eða C2H2 inndælingu.

Hátæmisdælur:Segulsveifla túrbó-sameindadælur (1200 - 3200 L/s) viðhalda háum dæluhraða fyrir leifar af vatnsgufu og léttum lofttegundum.

Lokar og mælingar:Pneumatic hliðarlokar, ISO/CF háir-tæmiþéttingarflansar og samsettir Pirani/heitir-katóðujónunarmælar sem eru innbyggðir beint í PLC samlæsingarlykkjuna.

Efni og undirlagssamhæfi

Samhæfar bakskautsmörk
Hreinir málmar:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Ni, Ag, Mo, W

Málblöndur og efnasambönd:TiAl, CrAl, TiSi, WC, grafítmarkmið fyrir -demantaeins kolefni (DLC) útfellingu

Undirlagsefni
Harðir málmar og karbítar:Sementað karbíð (WC-Co), há-hraðastál (HSS), skurðarinnlegg úr ryðfríu stáli

Hálfleiðarar og keramik:Kísilskífur, súrál (Al2O3), verkfræðilegt keramik

Umsóknir

Skurðarverkfæri og deyja:TiN, TiAlN og CrN útfelling á borum, endafræsum og stimplunarmótum til að auka yfirborðshörku í 2500 - 3500 HV og draga úr núningi.

Bílaíhlutir:Slitþolin og-lítil núningslög á stimplahringum, inndælingarpinnum og gírtönnum.

Skreytt hörð húðun:PVD litahúð (gull, rósagull, byssumálmur, svart títan) fyrir vélbúnaðar- og rafeindabúnaðarhús.

Hagnýtar þunnar kvikmyndir:Leiðandi og hindrunarlög fyrir öreindatækni og hálfleiðaraumbúðir.

Sérsniðin

Hólfstærð:Magnafbrigði sem samsvara tilteknum rúmfræði lotu og framleiðslufótsporum.

Upprunablending:Multi-bakskautssamþættingar sem sameina bakskautsbogagjafa og ójafnvægi segulómstrauðs (UBMS) bakskauta fyrir hallafjöl-laga filmur.

Undirlagsfesting:Sérsniðin plánetuspil, staðbundin hitunarfylki allt að 600 gráður og sérsniðin aflgjafar.

Hugbúnaðarsamþætting:Sérsniðin PLC uppskriftarrökfræði, SCADA gagnaskráning og stillingar í samræmi við iðnaðarsamræmi.

Gæðaeftirlit

Lekaleit:Helium massarófsmæliprófun á öllum hólfum og suðusaumum, sem tryggir heildarlekahraða sem nemur<= 1.0 x 10^-9 Pa·m^3/s.

Rafmagnsöryggisskoðun:Hár-möguleiki raforkuþolsprófunar, samfelluathugunar á jarðtengingu og sannprófun á samlæsingarsvörun áður en hólf er sett í rimlakassa.

Rekjanleiki efnis:Efnisprófunarskýrslur (MTR) eru gefnar fyrir ryðfríu stáli, lofttæmiþéttingar og háspennueinangrunaríhluti.

For-Prufukeyrsla fyrir sendingu:72-klst samfellt þurrkunarpróf á dælubúnaðinum, snúningsdrifum og aflgjafa undir hermuðum lotum.

Uppsetning og tækniaðstoð

Leiðbeiningar um undirbúning vefsvæðis:Utilities documentation covering floor load limits, cooling water flow rates (>15 m^3/klst. við 20 - 25 gráður), útblástursloft og rafmagnsfall (380V/480V, 3-fasa, 50/60Hz).

Gangsetning og samþykki:Verksmiðjusamþykkisprófun (FAT) á aðstöðu okkar; Site Acceptance Testing (SAT) og vinnsluferli framkvæmt á -síðunni af verkfræðingum sem eru búsettir.

Stuðningur við líftíma:Örugg VPN fjargreining, varahlutabirgðasöfnun (markmið, skjöldur, innsigli) og staðbundin viðhaldsþjálfun tæknimanna.

Algengar spurningar

Sp.: Hvernig lágmarkar kerfið dropamyndun (macroparticle) sem fylgir uppgufun ljósboga?

A: Kerfið notar segulsíaða kaþódbogagjafa (segulstýri og rásasíun). Þetta beygir plasmastrauminn á meðan ördropar eru festir á innri skífur, sem gefur slétt, dropalaust-myndform.

Sp.: Hvert er hitastig undirlagsins við útfellingu og hvernig er hita stjórnað?

A: Rekstrarhitastig er á bilinu 150 gráður til 500 gráður. Innbyggðir geislahitarar og lokaðar-vatnslykkja-kælirásir inni í undirlagshaldaranum koma í veg fyrir varmaröskun á viðkvæmum hlutum.

Sp.: Getur búnaðurinn keyrt sjálfvirkar framleiðslulotur stöðugt?

A: Já. PLC arkitektúrinn gerir sjálfvirkan dælu-niður, markmiðsaðlögun, ljósbogakveikju, hvarfgasstýringu með massaflæðisstýringum (MFC) og loftræstingarröð yfir margar-lotur.

Sp.: Hvaða gagnsemiskröfur verða að vera tilbúnar á-síðunni fyrir afhendingu?

Sv.: Kröfur eru meðal annars stöðugt kælt vatnsveitu, þjappað loft (0.6 - 0.8 MPa) fyrir pneumatic lokar, rafmagnsstraumar sem passa við kerfisálag (60 - 120 kVA) og stýrðar vinnslugaslínur (argon, köfnunarefni, asetýlen).

maq per Qat: ljósbogauppgufun þunnfilmubúnaðar, framleiðendur, birgja, verksmiðju, ljósbogauppgufun þunnfilmubúnaðar