Multi-boga tómarúmútfellingarbúnaður

Þetta fjöl-boga lofttæmiútfellingarkerfi notar kaþódíska ljósbogajónahúðunartækni til að setja þétta,-viðloðun harða húðun á málm- og ó-málmhúðuð undirlag. Með því að slá lága-spennu, háan-straumboga á föst bakskautsmarkmið, er efni gufað upp og jónað samstundis í lofttæmi. Hraðað með neikvæðri hlutspennu, hvarfast málmjónir við hvarfgjarnar lofttegundir (N2, C2H2, O2) til að mynda stoichiometric samsett filmur.

Kerfið er hannað fyrir iðnaðarverkfæraherbergi, bílaíhlutaframleiðendur og sjálfstæðar húðunarþjónustustofur og skilar endurtekinni filmuhörku, lága núningsstuðla og oxunarþol. Sérhver vél er stillt út frá lotuafköstum, rúmfræði undirlags og markhúðunararkitektúra (einlaga, marglaga eða halli).

Háþróaðar segulsviðsbogaheimildir:Bakskaut eru með fínstilltum varanlegum og rafsegulspólum til að stýra ljósbogapunktaferlum, auka nýtingarnýtingu markmiðs í yfir 55% og draga úr dropalosun.

Lokað-gasflæðisstýring í lykkju:Massflæðisstýringar (MFC) stjórna hlutþrýstingi hvarfgjarns gass í raun-tíma og viðhalda nákvæmri stoichiometry fyrir flókna samsetta húðun eins og TiAlN og AlCrN.

Snúningskerfi plánetunnar:Multi-snúningsdrif tryggir samræmda dreifingu filmuþykktar (vikmörk innan ± 5%) yfir flókna þrívíddaríhluti og skurðarverkfæri.

Í-Ion Etching Geta:Innbyggð ljómahreinsun og málmjónaæting fjarlægja innfædd oxíð fyrir útfellingu, sem tryggir klóraþolna-viðmótstengingu.

Modular rafmagnsarkitektúr:Staðlaðar tengiblokkir og einangraðir eininga rafmagnsrekki einfalda greiningu á vettvangi og lágmarka meðaltíma til viðgerðar (MTTR).

Útfelling þunnrar-filmu byggir á grunntæmisheilleika og gasmeðhöndlunarvirkni, framkvæmt með sviðsettum dælustafla:

Grófgerð og millistig:Beinar-vélrænar vélrænar dælur með snúningshreyfli, paraðar við rótarblásara, rýma hólfið frá andrúmsloftsþrýstingi yfir í breytingasviðið (10^-1 Pa).

Hátómastig:Túrbó-sameindadælur (eða olíudreifingardælur búnar köldugildrum fyrir fljótandi köfnunarefni) ná endanlegum grunnþrýstingi undir 5,0 × 10^-4 Pa, sem útilokar afgangsvatnsgufu og súrefnismengun.

Loka- og ventlasamsetning:Pneumatic há-tæmilokar, elastómer/málm-þéttir flansar (ISO/CF) og helíumleka-prófaðar suðu (< 1.0 × 10^-10 Pa·m3/s) prevent atmospheric outgassing during long coating cycles.

Markefni
Hreinir málmar:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, Ryðfrítt stál

Málblöndur:TiAl, CrAl, SiAl, WC-Co

Undirlagsefni
Verkfærastál:H13, M2, D2, há-hraðastál (HSS)

Sementað karbíð:WC-Samsettar innsetningar og endafræsar

Byggingarmálmar:Títan málmblöndur, ryðfríu stáli, látúni og ál (þurfa útfellingarreglur um lágt-hitastig)

Skurðar- og mótunarverkfæri:Útfelling TiN, TiAlN og AlCrN á endafræsum, borum, skurðarskurðum og stimplunarmótum til að auka yfirborðshörku allt að 3000 HV og lengja endingu verkfæra um 3x–5x.

Bílaíhlutir:Lág-núningshúðun (DLC eða CrN) borin á stimplahringi, eldsneytissprautupinna og straumhlífar til að draga úr vélrænu sliti og tapi á sníkjudýrum.

Vélbúnaður og hreinlætisvörur:Decorative, wear-resistant hard gold, rose gold, black (TiCN, ZrN), and stainless steel tones applied to architectural door hardware and bathroom fixtures with proven salt spray corrosion resistance (>240 klukkustundir).

Hólf rúmfræði:Lóðrétt hleðsla (hola-fest eða gólf-standandi) eða lárétt framhleðsla-.

Hybrid Deposition Sameining:Sameinaðu bakskautsbogagjafa með há-aflsmagnsmagnetronsputtering (HIPIMS) eða ójafnvægi segulstraumsputtering (UBM) bakskautum í einu hólfi fyrir blandaða virka lög.

Sjálfvirkniviðmót:Sérsniðin SCADA hugbúnaðarsamþætting við verksmiðju MES (Manufacturing Execution System) fyrir ytri loturakningu og sjálfvirkt hleðsluvélmenni handabandi.

Aðlögun gagnsemi:Verksmiðju-sértækar kælivatnshita-/þrýstingsstillingar og staðbundið samræmi við raforkuspennu (td 380V/480V, 50Hz/60Hz, 3-fasa).

Vacuum Leak Detection:Lekaprófun á helíummassalitrófsmæli er gerð á öllum hólfshlutum, suðusaumum og ventlagreinum.

Rafmagnsöryggisúttekt:Einangrunarviðnám, samfellda jarðtengingu og há-möguleikaprófun (hipot) framkvæmd í samræmi við CE/UL rafmagnsstaðla.

Hagnýtur þurrhlaup:72 tíma samfellt hjólapróf á vélrænum snúningsdrifum, pneumatic lokum og hitaeiningum án markkveikju.

Staðfesting sýnishorns:Prufuhúðunarkeyrsla framkvæmt með því að nota-hvarfefni frá viðskiptavini; sýni metin með kúlu-gígprófi (viðloðun) og Calotest/XRR (mæling á filmuþykkt).

For-uppsetningarleiðbeiningar:Nákvæmar grunn- og veituuppdrætti teikningar sem ná yfir gólfhleðsluforskriftir, kælivatnsrennsli (m3/klst), kröfur um útblástursrásir og stærð rafmagnssamlestna.

Í notkun á-stað:Vettvangsverkfræðingar sendir fyrir vélræna uppröðun, athugun á lofttæmi leka, rafmagnstengingu, uppskriftarstillingar í fyrstu ferli og þjálfun stjórnenda.

Skjalapakki:Heildarafhending felur í sér rafmagnsteikningar, samantektir á PLC heimildum, handbækur fyrir tómarúmíhluti, viðhaldsbilanaleit á trjám og tímasetningar fyrir skipti á rekstrarvörum.

Fjargreiningarstuðningur:Örugg VPN-virkjaður samþætting beins sem gerir verkfræðingum kleift að skrá sig inn í HMI viðmótið til að-greina færibreytur í rauntíma og hugbúnaðaruppfærslur.

Varahlutabirgðir:Sérstakur lager af mikilvægum varahlutum (bakskautsmarkmiðum, einangrunarbúnaði, ventlaþéttingum) viðhaldið fyrir hraða sendingu til að lágmarka niðurtíma línu.