Iðnaðar-gráðu Ion-Assisted Vaporation (IAE) kerfi sem samþættir fjöl-vasa rafeinda-geislauppgufun með orkumiklum jónageislagjafa (End-Hall eða Kaufman stillingu). Raun-jónasprengjuárás flytur hreyfihraða til að þétta frumeindir, dregur úr súlulaga kornavexti og ýtir þunnri-filmuþéttleika í átt að magnefnisgildum.
Stillt fyrir lotuvinnslu á plánetu snúningsbúnaði undir tvöfaldri-PLC sjálfvirkni. Kjarnaforrit fela í sér háa-leysis-skemmda-þröskuld (LIDT) sjóntruflanahúðun, þétta rafstraumsíustafla og endingargóðar hlífðar yfirhafnir.
Tæknilýsingar & vinnslugeta
|
Parameter |
Forskrift og vinnslugeta |
|
Fullkominn grunnþrýstingur |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (clean, dry, empty chamber) |
|
Dæla-Niðurtími |
< 15 min from atmosphere to 1.0 x 10^-3 Pa |
|
Kammerbygging |
304L / 316L Ryðfrítt stál; innri rafslípun (Ra<= 0.4 um) |
|
Uppspretta rafgeisla |
6 kW / 10 kW fjöl-vasasópbyssa (4 til 6 deiglur) |
|
Tegund jónauppspretta |
Enda-Hall eða Kaufman breiður-geisli; Orka: 50 - 300 eV; Straumur: 0 - 1000 mA |
|
Hitastig undirlags |
Umhverfishiti í 300 gráður C (+/- 2 gráður C PID lokað-lykkja einsleitni stjórna) |
|
Þykkt Einsleitni |
<= +/- 1.0% across a 400 mm deposition zone (with planetary rotation) |
|
Innri streitustjórnun |
<= +/- 50 MPa (Compressive/Tensile tunable via ion energy adjustment) |
|
Endurtekningarhæfni brotstuðuls |
Delta n<= +/- 0.001 verified over 50 consecutive production runs |
|
Kerfisframboð (spenntur) |
>= 95% rekstrarframboð undir stöðugri fjöl-vaktaframleiðslu |
|
Stjórna arkitektúr |
Tvöfaldur-PLC iðnaðarstýring með öryggislásum fyrir vélbúnað og uppskriftastjórnun |
Helstu eiginleikar
Öflug jónaárás:Raun-þungaflutningur útilokar örholur, stöðugleikar brotstuðul gegn raka-rófsbreytingum.
Hvarfandi gasblæðing:Stýrð hlutaþrýstingsinndæling á O2 eða N2 bætir upp súrefnisskort við útfellingu oxíðs/nítríðs og fjarlægir undir-oxíð frásogsbönd.
Modular Source Deck:Skipting um jónauppsprettu í snældu-stíl og skiptanlegir E-geislavasar draga úr loftræstingu í hólfinu-í-tæmi endurheimtartíma í innan við 2 klukkustundir.
Tómarúmsheilleiki:Málm-lokaðir og Viton-innsiglaðir ISO/CF flansar ásamt pneumatic hliðarlokum koma í veg fyrir kross-mengun yfir lotur.
Vacuum System Configuration
Grófa pakki:Rótarblásari studdur af snúningssnúa eða olíu-lausum loftþéttum vélrænum véldælum.
Há-tæmisdæla:Cryogenic pump (cryopump) or magnetically levitated turbomolecular pump (air throughput >= 2200 L/s).
Þrýstimæling:Samsettir Pirani og heita-katóðujónunarmælar fyrir stöðuga skráningu frá andrúmslofti til háloftarúms.
Reglugerð um vinnsluþrýsting:Þrýstimælir með lokuðum-lykkju sem knýr sjálfvirkan inngjöf fyrir fiðrilda við gasinnspýtingu.
Uppgufunarefni og undirlagssamhæfi
Uppgufunarefni:
Oxíð:SiO2, Ta2O5, TiO2, Nb2O5, HfO2
Flúoríð:MgF2, LaF3
Málmar:Au, Ag, Al, Cr, Ti
Undirlagsefni:
Optískt gler (BK7, brædd kísil, kvars)
Hálfleiðara oblátur (kísill, gallíumarseníð)
Kristallar (LiNbO3, Safír, YAG)
Rúmfræði uppsetningar:Sérsniðin plánetusnúningsbúr, hvelfingafestingar og flatir-plötuhaldarar, hannaðir fyrir tiltekið lotumagn.
Umsóknir og reynslusönnunargögn
Lasertruflasíur:Mjóbands- og brúnsíur sem krefjast útrýmingarhlutfalls með lokunardýpt > OD6 við 1064 nm.
Anti-endurskinshúð (AR) húðun:Marg-laga breiðbands AR húðun fyrir háa-afmagna leysirglugga og ljósleiðara myndavélar.
Yfirborðsspeglar að framan:Lág-dreifandi málmgluggar sem verndaðir eru með hörðum rafknúnum yfirhöfnum fyrir geim- og varnartækjabúnað.
Hálfleiðara díelektrísk lög:Aðgerðandi og einangrandi útfelling raffilmu á hita-viðkvæmt undirlag.
Sérsniðin
Hólfstærð:Innra þvermál skalað frá 700 mm til 1300 mm.
Heimildasamþætting:Tvöföld E-geislauppsetning, hitauppstreymi viðnámsgjafa eða sam-útfellingarstillingar.
Sjálfvirknistig:Hálf-sjálfvirk handvirk hleðsla eða fullkomlega samþætt vélfærafræðileg undirlagsmeðferð með hleðslu-lásum.
Fylgni:CE, UL/CSA rafmagnstöflur og SEMI S2/S8 öryggispakkar.
Gæðaeftirlit og verksmiðjusannprófun
Lekaleit:Massalrófsmælir helíumlekaprófun á öllum hólfum og innsiglum að < 1 x 10^-10 Pa*m^3/s.
Málskoðun:CMM sannprófun á innri festingarflönsum og sjónsniði sem staðfestir grófleika hólfveggsins (Ra<= 0.4 um).
Brenna-Í prófun:72-klst samfellt þurrkunarpróf- á lofttæmdælum, háspennuaflgjafa og PLC samlæsingarlykkjum.
Ferlissamþykkispróf (FAT):Tilvísunarhúðunarkeyrsla sem sannreynir stöðugleika útfellingarhraða og brotstuðulmarkmiðum gegn fyrirfram-samþykktum viðmiðum.
Uppsetning og tækniaðstoð
Leiðbeiningar fyrir-uppsetningar:Skipulagsteikningar sem ná yfir kælt vatn, útblástursloftræstingu, rafmagnsálag og gólfþyngdargetu.
Í notkun á-stað:Útfærsla á vettvangsverkfræði á vélrænni röðun, lekaeftirliti, tengingum gagna og sameiginlegum SAT prófum.
Ferlaþjálfun:Rekstrar- og viðhaldsþjálfun sem nær yfir uppskriftarforritun, þjónustu við jónagjafa og endurnýjun dælu.
Stuðningur við líftíma:Samþætting fjargreiningarviðmóts og staðbundin varahlutabirgðastjórnun.
Algengar spurningar
Sp.: Hvernig kemur jónaaðstoð í veg fyrir sjónbylgjulengdarbreytingu?
A: Öflug jónasprengjuárás þjappar kvikmyndabyggingunni saman með því að flytja skriðþunga til frumefna, útrýma smásæjum tómum. Þetta kemur í veg fyrir frásog raka í andrúmsloftinu, læsir brotstuðulinn og flutningsrófið er stöðugt.
Sp.: Hver er viðhaldsferlið og niður í miðbæ fyrir jónagjafann?
A: Gridless end-Halljónagjafar þurfa innri íhlutaskoðun á 200 til 300 vinnslustunda fresti. Snælda-stíl fljótlegs-skiptahönnunar gerir tæknimönnum kleift að skipta um eða þjónusta jónaljóstækni og koma hólfinu aftur í lofttæmi innan 2 klukkustunda.
Sp.: Getur kerfið samþætt bæði QCM og sjónvöktun?
A: Já. Tvöfaldar-vöktunarstillingar nota QCM fyrir upphaflega grunnlagshraða og sjónvöktun (OMS) til að rekja öfgar sendingar/endurkasts fyrir nákvæma lokun á fjórðungs-bylgjulagi.
Sp.: Hverjar eru helstu kröfur um gagnsemi fyrir venjulegt 900 mm hólf?
A: 3-phase power (380V / 480V, 50/60 Hz), chilled cooling water (~ 15 to 20 deg C at 4 - 6 bar), compressed air (>= 0.6 MPa), og 99,999% hreinar vinnslulofttegundir (Ar, O2) sem eru settar við 0.2 - 0.3 MPa.
maq per Qat: jóna-þunnfilmubúnaðar með aðstoð við uppgufun, Kína jóna-uppgufun þunnfilmubúnaðar framleiðendur, birgjar, verksmiðja
