Kína PVD Composite Thin Film Equipment Framleiðendur Birgjar Factory

Vöruyfirlit

PVD Composite Thin Film Equipment er iðnaðar tómarúmútfellingarvettvangur hannaður til að setja fjöl-laga, málmblöndur og nanósamsettar þunnar filmur. Með því að samþætta segulómsputtering og kaþódbogagjafa í einu tómarúmshólfinu, gerir kerfið nákvæma stjórn á örbyggingu filmu, afgangsálagi og viðloðun milli yfirborðs. Pallurinn er smíðaður fyrir stöðuga framleiðslu og háþróaða R&D og rúmar málm-, keramik- og fjölliða hvarfefni með skalanlegum rúmfræði hólfsins.

PVD samsettur tómarúmútfellingarbúnaður
Þessi iðnaðar PVD samsetta tómarúmútfellingarvettvangur samþættir margar útfellingaraðferðir í umhverfi í einu hólfi til að setja samræmdar, fjöl-laga þunnfilmur úr málmi, málmblöndur eða...
sjá meira
PVD Hybrid Thin Film Deposition System
PVD Hybrid Thin Film Deposition System samþættir varma uppgufun, rafeindageisla (e-geisla) uppgufun og RF/DC segulómasputtering innan eins lofttæmisarkitektúrs. Þessi vettvangur gerir rað-eða...
sjá meira
PVD Multi-Process Thin Film Equipment
PVD Multi-Process Thin Film Equipment er samþættur tómarúmútfellingarvettvangur sem er hannaður til að sameina margar þunnt-filmugerðartækni – þar á meðal RF/DC magnetron sputtering, varma...
sjá meira
PVD samsettur útfellingarbúnaður
Iðnaðar PVD samsettur útfellingarbúnaður er hannaður fyrir fjöl-íhluta, fjöl-laga og nanó-samsett þunn-filmugerð. Kerfið samþættir varmauppgufun, e-geislauppgufun og segulmagnsspúttgjafa í einu...
sjá meira
PVD samsett þunnfilmukerfi
Iðnaðar-tæmihúðunarkerfi sem samþættir segulstraumspúttingu (RF/DC/HiPIMS) og uppgufun á kaþódískum boga. Hannað fyrir samfellda, fjöl-laga, álfelgur og nanó-samsett þunnt-filmuútfelling á...
sjá meira
PVD samsettur þunnfilmubúnaður
PVD Composite Thin Film Equipment er iðnaðar tómarúmsvettvangur sem hannaður er til að búa til fjöl-laga, málmblöndur og flokkaðar þunnar filmur. Hann er byggður á 304L/316L ryðfríu stáli...
sjá meira

Tæknilýsing

Parameter	Forskriftarsvið
Fullkominn lofttæmiþrýstingur	<= 5.0 x 10^-5 Pa (Cryogenic/Turbomolecular pumping suite)
Vinnuþrýstingur	0,1 Pa - 5.0 Pa
Hitastig undirlags	Umhverfi í 800 gráður (Lokað-lykkja PID stjórnað)
Útfellingarheimildir	Stillanlegt: DC/RF magnetron sputtering, Pulsed DC, Filtered Cathodic Arc
Þykkt Einsleitni	< +/- 3% across standard 300 mm substrate carrier
Kammerefni	304L/316L ryðfríu stáli, vélrænt slípað og raf-fágað (Ra<= 0.4 um)
Sameining aflgjafa	MF rafala (10-100 kHz), RF rafalar (13,56 MHz), púlsað DC hlutdrægni
Stjórnkerfi	Iðnaðar PLC + IPC með sjálfvirkri framkvæmd uppskrifta, eftirlit með samlæsingum og skráningu lotugagna

Samsett útfellingarferli

Kerfið notar blandaðan eðlisfræðilegan gufuútfellingararkitektúr sem sameinar segulsviðssputtering og kaþódískan bogatækni.

Multi-samvirkni:

Samtímis eða raðvirkni margra bakskauta gerir ráð fyrir skyndilegum eða flokkuðum samsetningarbreytingum yfir filmustaflann.

Ion Etching Pre-Hreinsun:

RF eða DC plasmahreinsunarþrep fjarlægja innfædd oxíð og yfirborðsmengun fyrir útfellingu til að hámarka húð-við-viðloðun undirlags.

Hvarfandi útfellingarstýring:

Optical emission spectroscopy (OES) stjórnar innspýtingu hvarfgjarnra gass (O2, N2, C2H2) til að viðhalda stöðugri stoichiometric efnasambanda og koma í veg fyrir markeitrun.

Undirlagshlutdrægni:

Samstilltar pulsed bias aflgjafar sprengja stækkandi filmuna með háum-orkujónum, þétta örbygginguna og sníða afgangsþjöppunarálagi.

Kvikmyndaefni

Búnaðurinn styður breitt úrval markefna fyrir sérsniðnar virknikröfur:

Umbreytingarmálmnítríð og karbíð:

TiN, TiAlN, CrN, ZrN, TiCN fyrir slit og tæringarþol.

Nanósamsett og fjöllaga kerfi:

TiSiN, AlTiSiN, málm/keramik nanólög fyrir mikla hörku og háan-hitastöðugleika.

Gegnsætt leiðandi oxíð (TCO):

ITO, AZO, IGZO fyrir ljóseinda- og ljósvökvaforrit.

Hreinir málmar og málmblöndur:

Ti, Cr, Al, Cu, Ryðfrítt stál, NiCr fyrir rafmagnssnerti og dreifingarhindranir.

Umsóknir

Nákvæm skurðarverkfæri:

Útfelling ofur-harðrar-núningshúðunar (td TiAlN) á karbítinnlegg, bora og enda-fræsa til að lengja endingartímann við mikið hitaálag.

Bílaíhlutir:

Núnings-minnkun og slitþolnar-filmur á stimplahringum, eldsneytisinnsprautunarhlutum og gírbúnaði.

Optolectronics & Displays:

Lágt-viðnám, há-flutningsleiðandi oxíðlög fyrir snertiplötur og sólarselluhólf.

Læknatæki:

Lífsamhæft og slitþolið-húð á skurðaðgerðartækjum og bæklunarígræðslum.

Sérstilling og kerfisstilling

Verkfræðistillingar eru lagaðar að sérstökum takmörkunum framleiðsluaðstöðu og vinnsluuppskriftum:

Hólfstærð:

Sívalir eða rétthyrndir hólfsvalkostir, allt frá rannsóknar- og þróunarlotukerfum (500 mm í þvermál) til stór-framleiðsluálags-láskerfis (1000 mm+).

Úrval dælusvítu:

Samsvörunar rótarblásarar, túrbósameindadælur og frostdælur byggðar á nauðsynlegum dælu-stopptíma og gashleðslusniðum.

Undirlagsfesting:

Sérsniðin snúningsþrep reikistjarna, 3-snúningur gervihnatta eða rúllu-einingum sem eru hannaðar fyrir flóknar þrívíddar rúmfræði eða samfellda vefi.

Sjálfvirknistig:

Hálf-sjálfvirkar handvirkar hleðslustillingar eða fullkomlega sjálfvirk tómarúmflutningskerfi með vélfærafræðilegri undirlagsmeðferð.

Framleiðsla og gæðaeftirlit

Lekaleit:

Sérhvert tómarúmhólf fer undir lekaprófun á helíummassarófsmæli að þröskuldi < 1 x 10^-10 Pa * m^3 / s.

Suðuskoðun:

Tómsuðu-hliðarsuður eru TIG-soðnar, slípaðar og slípaðar, fylgt eftir með röntgen- eða litarefnaskoðun ef óskað er eftir því.

Rafmagns- og öryggisreglur:

Stjórnborð byggð í samræmi við NFPA 79 eða CE/IEC staðla, með vélbúnaðarlásum fyrir vatnsflæði, gasþrýsting og rafmagnsöryggi.

Verksmiðjuviðurkenningarprófun (FAT):

Prófanir fyrir-sendingar fela í sér 72-stunda samfellda þurrkunarhjólreiðar-, sannprófun á frammistöðu í lofttæmi og útfellingu prófunar með því að nota uppskriftir sem tilgreindar eru af viðskiptavini.

Uppsetning og tækniaðstoð

Leiðbeiningar um undirbúning vefsvæðis:Alhliða krafnaskjal fyrir aðstöðu sem fylgir með útlistun veituviðmóta (kælivatnsrennsli/þrýstingur, rafmagnsálag, þjappað loft, útblástur).

Í notkun á-stað:Þjónustuverkfræðingar á vettvangi framkvæma vélrænni röðun, athuganir á lofttæmi, leka, raftengingar-og fyrstu kvörðun.

Aðferð uppskriftastilling:Samstarf á-stað við málmfræðinga og vinnslufræðinga viðskiptavina til að læsa færibreytum fyrir þykkt, álag og hörku markfilmu.

Stuðningur við líftíma:Fjargreiningarviðmót, staðbundið varahlutabirgðir og áætlað fyrirbyggjandi viðhaldsáætlanir.

PVD Composite Vacuum Deposition Equipment

Algengar spurningar

Sp.: Hver er dæmigerður dælutími-til að ná grunnþrýstingi?

A: Með því að nota staðlaðar há- lofttæmisstillingar (túrbósameinda- eða frostdælur pöruð við rótar-/snúningsdælur), rýmast hólfið úr andrúmslofti í < 5,0 x 10^-4 Pa innan 25 til 40 mínútna, allt eftir rúmmáli hólfsins og álagi sem losnar við raka.

Sp.: Getur kerfið skipt sjálfkrafa á milli hvarfgjarnrar og ó-hvarfvirkrar sputterhams?

A: Já. PLC-stýringarhugbúnaðurinn stjórnar massaflæðisstýringum (MFC) og aflgjafaúttakum á kraftmikinn hátt, sem gerir sjálfvirk umskipti á milli málmútfellingar og hvarfgjarns efnasambandsmyndunar innan einni vinnslulotu.

Sp.: Hvaða rúmfræði undirlags getur staðlað snúningsþrep plánetunnar tekið við?

A: Staðlað 3-ása plánetufestingin meðhöndlar flókna þrívíddaríhluti eins og skurðarverkfæri og bílaventla. Hægt er að hanna sérsniðna jigs fyrir flatt undirlag allt að 400 mm x 400 mm eða sívalur rúllur.

Sp.: Hvernig tryggir þú einsleitni filmuþykktar yfir stórar lotur?

A: Samræmi er náð með bjartsýni bakskauts-til-undirlagsfjarlægðar, staðbundinnar segulsviðssniðs eftirlíkingu og fjölása plánetu snúningi. Raunveruleg einsleitni er sannreynd með sýnisprófun vitna meðan á FAT stendur.

Sp.: Hverjar eru gagnsemiskröfur fyrir staðlaða iðnaðareiningu?

A: Krefst venjulega 3-fasa 380V/480V (50/60Hz), kælt kælivatnsveitu (u.þ.b. 15 til 20 gráður við 3 til 4 bör), þjappað loft (6 bör) fyrir pneumatic lokar og hreint þurrt loft eða köfnunarefni til að lofta út. Nákvæmt álag er mismunandi eftir uppsetningu aflgjafa.

Við erum vel-þekkt sem einn af leiðandi framleiðendum og birgjum pvd samsettra þunnfilmubúnaðar í Kína. Ef þú ætlar að kaupa sérsniðna pvd samsettan þunnfilmubúnað framleidd í Kína, velkomið að fá verðskrá frá verksmiðjunni okkar. Fyrir verðráðgjöf, hafðu samband við okkur.