Iðnaðar PVD samsettur útfellingarbúnaður er hannaður fyrir fjöl-íhluta, fjöl-laga og nanó-samsett þunn-filmugerð. Kerfið samþættir varmauppgufun, e-geislauppgufun og segulmagnsspúttgjafa í einu lofttæmiumhverfi til að stjórna filmusamsetningu, skerpu viðmóts og afgangsspennu. Byggt fyrir stöðuga R&D og framleiðslu, arkitektúrinn er með lágan grunnþrýsting, mátuppsetningu og hreinan viðhaldsaðgang.
Tæknilýsing
|
Parameter |
Forskriftarsvið / gildi |
|
Fullkominn lofttæmiþrýstingur |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (cryo/turbomolecular configuration) |
|
Dæla-Niðurtími |
Andrúmsloft að 6,0 x 10^-4 Pa in<= 15 minutes (clean, dry, empty chamber) |
|
Stærð undirlagshaldara |
Sérsniðnar stillingar: allt að þvermál. 600 mm flatplata eða plánetustig |
|
Samræmd filmuþykkt |
< +/- 1.5% across standard working area (verified via in-situ optical monitoring) |
|
Hitastig undirlags |
Umhverfishiti að 800 gráður C (PID stjórnað, kvars halógen/viðnámshitun) |
|
Útfellingarheimildir |
Fjöl-vasa e-geislabyssur, hitabátar og RF/DC segulróna bakskaut |
|
Kammerefni |
304L/316L ryðfríu stáli, raf-fágaðir innveggir (Ra<= 0.2 um) |
|
Kerfisstýringarviðmót |
PLC + IPC arkitektúr, sjálfvirk framkvæmd uppskrifta, SCADA skógarhögg |
Helstu eiginleikar
Modular Source Integration:Hólfportir taka við samtímis eða raðvirkni uppgufunar- og sputteringgjafa án víxlamengunar.
Dynamic Substrate Manipulation:Multi-ása plánetu- eða sveiflusnúningsdrifbúnaður tryggja samræmda húðun á flóknu þrívíddar undirlagi og djúpum skurðum.
Í-vöktunarhöfnum á staðnum:For-jafnaðar flansar fyrir kvarskristal örjafnvægi (QCM), optical emission spectroscopy (OES) og breiðbands sjónvöktun (BOM).
Hár-hreinleiki tómarúms:Málm-þéttir (CF) flansar, pneumatic hliðarlokar og Helium massagreiningarmælir lekaprófanir niður í 1,0 x 10^-10 Pa*m3/s.
Sjálfvirkt samlæsingaröryggi:Rauntími-endurgjöf skynjara verndar gegn bilun í kælivatni, tapi á þjappað lofti og of-hitaafbrigði.
Vacuum System Configuration
Gróf- og rótardælur:Olíu-lausar þurrskrúfudælur ásamt rótarblásara koma í veg fyrir að kolvetni streymi aftur inn í vinnsluhólfið.
Hár-tæmisdælur:Segulmagnaðir túrbósameindadælur eða lokaðar-helíum-frystidælur sem eru valdar í samræmi við kröfur um gasálag.
Þrýstireglugerð:Inngjöfarlokastýringar sem eru samþættar rýmdarmælum viðhalda stöðugum ferliþrýstingi (0,1 Pa til 10 Pa) meðan á viðbragðskeyrslum stendur.
Efni og undirlagssamhæfi
Útfellingarefni
Málmar:Ti, Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Mo, W, Pt
Oxíð og rafefni:SiO2, TiO2, Ta2O5, Al2O3, HfO2
Nítríð og karbíð:TiN, TiAlN, CrN, Si3N4
Undirlagsefni
Hálfleiðarar:Kísilskífur (100 mm til 300 mm), gler, kvars, safír
Málmar og málmblöndur:Ryðfrítt stál, títan málmblöndur, verkfærastál, ofurblendi
Keramik og fjölliður:Súrál, sirkon, pólýímíð filmur
Umsóknir
Síur fyrir sjóntruflanir:Fjöl-laga andstæðingur-endurskinshúð (AR) húðun, bandpasssíur og háir-endurskinsspeglar fyrir leysigeisla og skynjara.
Notist-þolin hörð húðun: Nanósamsett nítríð húðun (TiAlN/Si3N4) á nákvæmni skurðarverkfærum og ventlavélum fyrir bíla.
Örrafrænar þunnar kvikmyndir:Leiðandi hindrunarlög, frælög og snertimálmunarstaflar fyrir hálfleiðaraumbúðir.
Hagnýtar orkumyndir:Gegnsætt leiðandi oxíð (TCO) og gleypilög fyrir ljósvaka- og skynjaratæki.
Sérstillingarvalkostir
Stærðir kammers:Stækkað rúmmál frá R&D mælikvarða (400 mm teningur) til framleiðslukvarða (Dia. 1200 mm sívalur).
Upprunagáttarútlit:Sérsniðin flansstaða til að samþætta jónagjafa þriðja aðila,-plasma-aðstoðað útfellingu (PAD) eða RF hlutdrægni rafala.
Hlaða-Lássamþættingu:Handvirkt hleðslu-lás, staka-skífuhleðslu-lás eða fjöl-hólfa klasaverkfærastillingar til að koma í veg fyrir oxun.
Gæðaeftirlit og alþjóðlegt samræmi
Alþjóðlegt samræmi við rafmagn og öryggismál:Stjórnskápar byggðir samkvæmt UL 508A / NFPA 79 (Norður-Ameríku), CE (Evrópu) og SEMI S2/S8 EHS leiðbeiningum.
Tómarúm próf:Soðin hólf fara í gegnum Helium massagreiningarmælis lekagreiningu áður en yfirborðsfrágangur er lokið.
Málskoðun:Sannprófun á samræmdum mælivélum (CMM) á uppsetningarplanum og frávikum undirlags.
Verksmiðjusamþykkispróf (FAT):72-klst. samfelld þurrkunarpróf- sem skráir grunnþrýstingsfall, niðurdælingarferla og PLC svörunarskrár.
Uppsetning og tækniaðstoð
For-uppsetningarverkfræði:Útvegun handbóka um kröfur um aðstöðu (veitur, rennsli/þrýstingur kælivatns, útblástursloftræsting, hleðsla á gólfi hreinsherbergja).
Í notkun á-stað:Þjónustuverkfræðingar á vettvangi hafa umsjón með búnaði, tengingu við lofttæmi, rafmagnstengingu-og upphafsdælu-niður.
Aðstoð við ferlistillingu:Samstarfsprófun keyrir með verkfræðiteymum viðskiptavina til að sannreyna einsleitni kvikmynda og útfellingarhraða.
Stuðningur við líftíma:Samþætting fjargreiningareininga fyrir-rauntíma PLC bilanaleit, studd af staðbundinni varahlutabirgðum.
Algengar spurningar
Sp.: Hver er leiðtími fyrir sérsniðið kerfi?
A: Staðlaðar stillingar krefjast 16 til 24 vikna frá því að samþykki er tekið þar til verksmiðjan er reiðubúin, allt eftir afgreiðslutíma lofttæmisdælunnar.
Sp.: Hvernig er kross-mengun stjórnað meðan á fjöl-samhliða-útfellingu stendur?
A: Hólf eru með líkamlegri vörn á milli uppsprettu, einstakra uppsprettuloka og stefnubundinna gasdreifingarhringa til að koma í veg fyrir flæði agna.
Sp.: Er hægt að samþætta þennan búnað í hreinstofuaðstöðu?
A: Já. Stuðningur við kerfi í gegnum--vegg (gult herbergi / hreinherbergi) uppsetningu, með því að setja vinnsluhólfið inni í hreinherberginu og tólarekki í þjónustuleiðinni.
Sp.: Hvaða gagnsemiskröfur þarf að undirbúa fyrir afhendingu?
A: Requirements include 3-phase power (configured to local 480V/380V standards), chilled cooling water (18 deg.C to 22 deg.C, >= 3 bar), þjappað loft (6 bör þurrt/síað) og sérstakri útblásturslína fyrir grófdælu.
maq per Qat: pvd samsettur útfellingarbúnaður, Kína pvd samsettur útfellingarbúnaður framleiðendur, birgjar, verksmiðja
