Vöruyfirlit
Þunnfilmubúnaður IAE-Series Ion-Assisted Vaporation Thin Film Equipment samþættir líkamlega gufuútfellingu (PVD) við rauntíma-geislaárás. Með því að beina orkuríkum jónum á undirlagið meðan á varma- eða rafeinda--geislauppgufun stendur, flytur kerfið skriðþunga til þéttandi frumefna, sem endurskipulagir örbyggingu hinnar vaxandi filmu.
Þessi hreyfiorkuflutningur útilokar súlulaga tómarúm, bælir frásog raka og læsir brotstuðulinn gegn breytingum á rakastigi umhverfisins. Pallurinn er smíðaður fyrir samfellda fjöl-vaktaaðgerð í ljós- og hálfleiðaraframleiðslulínum og meðhöndlar undirlag, allt frá hár-nákvæmni leysisljóstækni til sílikonskífa.
-
![Jóna-Aðstoðuð tómarúmsuppgufunarbúnaður]()
Jóna-Aðstoðuð tómarúmsuppgufunarbúnaðurJóna-aðstoðað tómarúmsuppgufunarkerfið samþættir há-lofttæmivarma eða rafeinda-geislauppgufunargjafa með Kaufman-gerð eða enda-Hall jónagjafa. Með því að sprengja stækkandi filmuna með jónuðu gasi...sjá meira -
![-jónaaðstoð þunnfilmuútfellingarkerfi]()
-jónaaðstoð þunnfilmuútfellingarkerfiIon-Assisted Thin Film Deposition System samþættir fjöl-vasa rafeinda-geisla/varma uppgufun með -afkastamikilli End-Hall eða Kaufman-gerð jónagjafa. Meðan á líkamlegri gufuútfellingu stendur...sjá meira -
![Búnaður til að aðstoða jónageisla við uppgufun]()
Búnaður til að aðstoða jónageisla við uppgufunIBAE kerfið sameinar rafeinda-geisla eða hitauppgufun með samþættum breiðum-geislajónagjafa. Samtímis jónasprengjuárás meðan á filmuvexti stendur flytur hreyfiorku til þéttandi frumefna, útilokar...sjá meira -
![Jóna-aðstoðarbúnaður fyrir þunnfilmuútfellingu]()
Jóna-aðstoðarbúnaður fyrir þunnfilmuútfellinguIA-Series Ion-Assisted Thin Film Deposition Equipment samþættir rafeinda-varmauppgufun með Kaufman eða End-Hall jónagjafa. Öflug jónasprengja (argon/súrefnisblanda) meðan á útfellingu stendur...sjá meira -
![Þunnfilmukerfi með jóna-aðstoðað uppgufun]()
Þunnfilmukerfi með jóna-aðstoðað uppgufunIon-Aðstoðað uppgufun (IAE) þunnfilmukerfið samþættir líkamlega gufuútfellingu (PVD) með orkumiklum jóngeislasprengjum. Við varma- eða rafeinda--geislauppgufun beinir auka-Kaufman- eða...sjá meira -
![Þunnfilmubúnaður með jóna-aðstoðinni uppgufun]()
Þunnfilmubúnaður með jóna-aðstoðinni uppgufunIðnaðar-gráðu Ion-Assisted Vaporation (IAE) kerfi sem samþættir fjöl-vasa rafeinda-geislauppgufun með orkumiklum jónageislagjafa (End-Hall eða Kaufman stillingu). Raun-jónasprengjuárás flytur...sjá meira
Tæknilýsing
|
Parameter |
Forskrift |
|
Fullkominn grunnþrýstingur |
< 5.0 × 10⁻⁵ Pa (achieved within 45 mins via cryogenic/turbomolecular pumping) |
|
Uppgufun heimildir |
Fjöl-vasa E-geislabyssa (4 × 15cc til 40cc) og viðnám hitagjafa |
|
Tegund jónauppspretta |
Gridless End-Hall / Kaufman-jónagjafi (geislaspenna: 50 – 1500 V, jónastraumur: 0,1 – 3 A) |
|
Filmþykktarstýring |
Kvars kristal örjafnvægi (QCM) + Optískt eftirlitskerfi (OMS), nákvæmni ± 0,1 nm |
|
Undirlagsfesting |
Planetary snúningsfestingur, hvelfingarradíus sérsniðin að rúmfræði undirlagsins |
|
Upphitun undirlags |
Geislahitaraflokkur, allt að 350 gráður með ± 2 gráðu PID einsleitni |
|
Stjórna arkitektúr |
PLC + iðnaðartölva, sjálfvirk framkvæmd uppskrifta, SECS/GEM samhæfð gagnaskráning |
Jóna-aðstoðunarferli
Gufumyndun:
Efni er gufað upp úr e-geisladeiglunni eða hitabátnum með stýrðum útfellingarhraða (0,1 – 2,0 nm/s).
01
Skriðþungaflutningur:
Orkujónir (Ar⁺, O⁺) sprengja yfirborð undirlagsins samhliða gufuflæðinu sem berast frá E-geislanum eða hitauppstreymi.
02
Breyting á örbyggingu:
Áhrif jóna eykur hreyfanleika atóms yfirborðs, kemur í veg fyrir vöxt súlulaga korna og nær -magnþéttleika (pökkunarþéttleiki > 99%).
03
Stoichiometry Leiðrétting:
Hvarfandi jónaaðstoð (O₂) tryggir fullkomna oxun á undir-oxíðum í málmoxíðfilmum (td Ta₂O₅, Nb₂O₅, SiO₂), sem útilokar frásogsbönd í UV-NIR litrófinu.
04
Kvikmyndaefni
Oxíð:
SiO₂, Ta₂O5, TiO₂, Nb₂O₅, HfO₂ (hár brotstuðullstöðugleiki fyrir ljóssíur).
Flúoríð:
MgF₂, LaF₃ (Lágur brotstuðull lög fyrir breiðbands AR húðun).
Málmar:
Al, Ag, Au, Ti (viðloðunarlög og málmendurskinsmerki).
Umsóknir
Laser og nákvæmni ljósfræði:
Bandpass síur, tvískipta speglar og leysirhlífðarhúð sem krefjast hás leysir-skaðaþröskulds (LIDT) og núllrófsbreytingar við hitaálag.
LiDAR hlífðargler:
Endingargóðar-endurskinsvörn (AR) og gegn-óhreinu þunnum filmum sem þola harða útiveður.
Hálfleiðara umbúðir:
Raka-hindrunarlög og málmsnertiflötur settar út við lágt undirlagshitastig.
Lífeindafræðilegir skynjarar:
Lífsamhæfð sjóntruflun húðun fyrir greiningar örvökvaflögur.
Sérsniðin
Hólf og innra skipulag eru hönnuð að sérstökum framleiðslufótsporum og vinnslukröfum:
Stærðir kammers:
Hægt að skalast frá R=600 mm R&D einingar í R=1200 mm há- framleiðslukerfi.
Dælupakkar:
Hægt að stilla með Maglev turbomolecular dælum, cryopumps og Roots blásara baklínum byggt á gasálagskröfum.
Heimildasamþætting:
Tvöfaldar-jónauppsprettustillingar eða sam-útfellingaruppsetningar fyrir flóknar málmblöndur og fjöl-laga hallafilmur.
Sjálfvirknistig:
Samþætting við sjálfvirk hreinherbergi undirlagsflutningskerfi (EFEM / Vacuum cluster tools).
Gæðaeftirlit
Lekaleit:
Sérhver tómarúmhólf er helíumleki-prófaður með massarófsmæli (lekahraði < 1,0 × 10⁻¹⁰ Pa·m³/s).
Rekjanleiki íhluta:
Tómarúmslokar, massaflæðisstýringar (MFC) og aflgjafar fengnir frá hæfu Tier-1 iðnaðarvörumerkjum (MKS, Inficon, VSK).
Verksmiðjuviðurkenningarprófun (FAT):
Keyrðu-próf til að sannreyna grunnþrýsting, dælukúrfu, stöðugleika uppsprettu og 24-klst samfellt úthald í tómt hólf fyrir sendingu.
Staðfesting mælifræði:
Sýnakeyrslur sannprófaðar með litrófsmæli (geislun/endurkast) og frumeindakraftsmásjá (yfirborðsgrófleiki Ra < 0,5 nm).
Uppsetning og tækniaðstoð
Leiðbeiningar um undirbúning vefsvæðis:
Alhliða veitukröfur fyrir afhendingu (kælivatnsrennsli/þrýstingur, þjappað loft í hreinu herbergi, orkudreifing, útblástursloftun).
Turnkey gangsetning:
Þjónustuverkfræðingar á vettvangi sjá um vélræna samsetningu, lofttæmingu-út, kvörðun jónageisla og afskráningu-uppskriftar í fyrstu ferli á-stað.
Þjálfun rekstraraðila:
Skipulagðar hendur-í þjálfun sem nær yfir reglubundið viðhald, ryksuguöryggi, hugbúnaðarrekstur og bilanaleit.
Stuðningur við líftíma:
Fjargreiningarviðmót fyrir hraða úrræðaleit í hugbúnaði; svæðisbundið lager af mikilvægum slithlutum (þráðum, deiglum, skjöldum) sendar innan 48 klukkustunda.
Algengar spurningar
Við erum vel-þekkt sem einn af leiðandi framleiðendum og birgjum jóna-þunnfilmubúnaðar fyrir uppgufun í Kína. Ef þú ætlar að kaupa sérsniðinn jóna-þunnfilmubúnað sem er framleiddur í Kína, velkomið að fá verðlista frá verksmiðjunni okkar. Fyrir verðráðgjöf, hafðu samband við okkur.
