Jóna-aðstoðað tómarúmsuppgufunarkerfið samþættir há-lofttæmivarma eða rafeinda-geislauppgufunargjafa með Kaufman-gerð eða enda-Hall jónagjafa. Með því að sprengja stækkandi filmuna með jónuðu gasi (Ar eða O2) við líkamlega gufuútfellingu (PVD), flytur kerfið hreyfiorku til frumefna, bælir súlulaga örbyggingu og kemur í veg fyrir rakaupptöku í sjón- og rafþunnum filmum.

Kerfið er byggt fyrir hreinherbergissamþættingu og samfellda-vaktaframleiðslu og stækkar frá rannsóknar- og þróunarfótsporum (300 mm hólfa) til iðnaðarlína með mikilli-afköstum (900 mm tvískiptur-hurðar- og plánetuumhverfisstillingar).

Tæknilýsing

Færibreytuflokkur	Tæknilýsing
Stærðir kammers	600 mm x 600 mm x 600 mm (sérsniðin allt að 1200 mm)
Kammerefni	304L ryðfríu stáli, innri yfirborð rafpússuð að Ra < 0,2 um
Grunnþrýstingur	<= 5.0 x 10^-5 Pa (Achieved within 45 minutes from atmosphere)
Fullkominn þrýstingur	<= 8.0 x 10^-6 Pa
Uppgufun heimildir	Fjöl-vasa E-geislabyssa (6 x 15cc / 4 x 40cc) og viðnámsvarmagjafa
Jónauppspretta	Enda-Hall / Gridless jónagjafi (geislaspenna: 50-300 V, jónastraumur: 0-500 mA)
Undirlagsbúnaður	Planetary snúningsbúnaður (0-20 RPM) með valfrjálsum upphitun (RT til 350 gráður C)
Filmþykktarstýring	Quartz Crystal Microbalance (QCM) með tvöföldum skynjarahaus og PID lokaðri-lykkjustýringu

Helstu eiginleikar

Nálægt-Magnþéttleiki:Aukinn hreyfanleiki adatom yfirborðs útilokar sýnilegan filmu og hámarkar vélræna hörku.

Innri streitustilling:Stillanleg jóngeislaorka hlutleysir vélræna streitu og kemur í veg fyrir aflögun á þykkum rafstöflum.

Lítil-varma-Fjárhagsáætlunarvinnsla:Skriðþunga-drifin þétting gerir-afkastamikilli húðun kleift á hita-næmum fjölliða undirlagi án hitauppstreymis.

Sjálfvirkni uppskrifta:PLC-stýrðar tómarúmstengingar og dælu-niðurröð stjórnað með iðnaðarsnertiskjá-skjáborðs HMI með gagnaskráningu.

Vacuum System Configuration

Gróft stig:Tvöfalds-vélræn dæla með snúningsvél ásamt rótarblásara (150 l/s hraði) fyrir hraðvirka yfirfærslu.

Hátómastig:Segulmagnaðir túrbósameindadæla (1600 L/s) studd af olíu-lausri þurrsnúnadælu til að koma í veg fyrir bakstreymi kolvetnis.

Cryogenic valkostur:Fljótandi köfnunarefni kaldgildra og frystidæla samþætting fyrir lágan-vatnsgufuhlutþrýsting.

Tómarúmsmæling:Kross-kvarðaðir Pirani og Cold Cathode mælar fyrir rauntíma-endurgjöf frá andrúmslofti í 10^-7 Pa.

Uppgufunarefni og undirlagssamhæfi

Uppgufun efni
Oxíð:SiO2, TiO2, Ta2O5, Nb2O5, Al2O3

Flúoríð:MgF2, LaF3

Málmar:Al, Ag, Au, Ti, Cr

Samhæfni undirlags
Optísk undirlag:Brædd kísil, N-BK7, sílikon, germaníum og sink seleníð gluggar.

Hálfleiðaraplötur:100 mm til 300 mm sílikon og samsettar hálfleiðaraplötur.

Fjölliður:PET, PI (pólýímíð) og PMMA kvikmyndir sem nota IAD færibreytur fyrir lágt-hitastig.

Umsóknir

Nákvæmni ljósfræði:Anti-endurskinshúð (AR) húðun, leysispeglar og þröngar bandpasssíur sem krefjast rakaþols.

Öreindatækni:Metal hlið rafskaut, viðloðun lög, og passivation hindranir í hálfleiðara umbúðum.

Ljóstækni:Gegnsætt leiðandi oxíð (TCO) tengiliðir og OLED raka-hindrunarlög.

Sérstillingarvalkostir

Hólf rúmfræði:Rétthyrnd eða sívalur bygging sem er sniðin að veggþvingunum í hreinherbergi.

Multi-upprunasamþætting:Sam-uppgufunaruppsetningar sem rúma allt að þrjár E-geislabyssur og fjóra hitabáta.

Í-Situ mælifræðihöfnum:Flanssamþættingartengi fyrir litrófsmæla sporbaugsmæla eða sjónvöktunarkerfi.

Sjálfvirknistig:Hálf-sjálfvirk rannsóknarsmíði eða fullsjálfvirk snælda-til-snælda meðhöndlun obláta.

Gæðaeftirlit og prófunarreglur

Lekaleit:Helium massagreiningarprófun á hverju hólfi með ströngum höfnunarþröskuldi < 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.

Staðfesting á hreinlæti:RGA-skönnun framkvæmd fyrir-sendingu til að staðfesta núll lífræn kolvetni.

Kerfisbrennsla-Í:72-klukkutíma samfellt þurrkeyrslupróf á vélrænum drifum, kæligreinum og raflásum.

Skjöl:Efnisverksmiðjuprófunarvottorð (MTRs), rafmagnsteikningar og verksmiðjusamþykkispróf (FAT) skýrslur.

Uppsetning og tækniaðstoð

Undirbúningur síða:Detailed facility guide covering floor loading, chilled water (>= 5 m^3/klst.), hreint þurrt loft (CDA) og útblástur.

Gangsetning:Útfærsla á vettvangsþjónustu fyrir vélræna jöfnun, tengingu við tól, kvörðun í lofttæmi og-uppskriftarmerking.

Þjálfun rekstraraðila:5-daga áætlun á staðnum sem nær yfir rekstur, fyrirbyggjandi viðhald, bilanaleit og öryggislæsingar.

Varahlutir:Mikilvægar slithlutir (þræðir, QCM kristallar, innsigli, túrbósameindalegir) á lager á svæði.

Algengar spurningar

Sp.: Hvernig kemur IAD í veg fyrir að brotstuðull reki?

A: Jónasprengjuárásin rekur fastar leifar af lofttegundum frá sér og þjappar filmuvexti niður í næstum -magnþéttleika. Þetta stöðvar rakaþéttingu umhverfisins við loftræstingu í andrúmsloftinu, tryggir núllmiðju-bylgjulengdarbreytingu með tímanum.

Sp.: Hvert er viðhaldsbilið fyrir jónagjafanet og þráða?

A: End-Halljónagjafar virka í 150-200 vinnslustundir eftir hvarfgefnum lofttegundum. Hraðlosandi klemmur gera kleift að skipta um íhlut á innan við 30 mínútum.

Sp.: Getur kerfið séð um hvarfgjörn ferli eins og TiO2?

A: Já. Sérstakir há-massiflæðisstýringar (MFC) dæla súrefni eða köfnunarefni beint inn í hólfið og jónagjafann, tryggja fullkomna stoichiometry og útiloka undir-oxíðupptöku.

maq per Qat: jóna-stýrður tómarúmsuppgufunarbúnaður, Kína jóna-studdur tómarúmsuppgufunarbúnaður framleiðendur, birgjar, verksmiðja