IBAE kerfið sameinar rafeinda-geisla eða hitauppgufun með samþættum breiðum-geislajónagjafa. Samtímis jónasprengjuárás meðan á filmuvexti stendur flytur hreyfiorku til þéttandi frumefna, útilokar súlulaga örbyggingu og framleiðir nær-magn-þéttleika þunnar filmur með lágmarks raka-framkallaðri litrófsbreytingu.
Tæknilýsing
|
Parameter |
Forskrift |
|
Grunnþrýstingur |
<= 5.0 x 10^(-5) Pa (achieved within 35 minutes) |
|
Vinnuþrýstingur |
1,0 x 10^(-1) til 1,0 x 10^(-2) Pa |
|
Tegund jónauppspretta |
Gridless End-Hall / Kaufmann jónauppspretta |
|
Ion Beam Orka |
50 eV til 1500 eV (lokað-lykkja stöðugt) |
|
Straumþéttleiki jónageisla |
0 til 2,5 mA/cm^2 |
|
Uppgufun heimildir |
Fjöl-vasa E-geislabyssa (4 x 15 cc til 6 x 40 cc) / mótstöðubátar |
|
Undirlagshaldari |
Planetary snúningsfesting með upphitun upp í 300°C |
|
Þykkt Einsleitni |
<= plus/minus 0.5 percent over 400 mm diameter |
|
Stjórnkerfi |
Siemens S7-1500 PLC + iðnaðartölva (Inficon útfellingarstýring) |
Helstu eiginleikar
Bombardement með tvískiptri-stillingu:Hreyfiorkuflutningur þéttir filmur við lágt undirlagshitastig, verndar viðkvæma ljósfræði og fjölliða hvarfefni.
Lokað-Loop Ion Stöðugleiki:Innbyggðir massaflæðisstýringar viðhalda stöðugu jónaflæði í langri framleiðslulotu, sem tryggir samkvæmni í lotu.
Modular Vacuum Chamber:304L ryðfríu stáli með raf-fáguðum innréttingum (Ra<= 0.2 um) and Conflat metal seals.
Sjálfvirk röðun:PLC-stýrð dæla-niður-, útfellingar- og útblásturslotur lágmarka rekstrarfrávik.
Vacuum System Configuration
Grófunardælur:Olíu-lausar þurrar rætur og snúningsdælur.
Hátæmisdæla:Segulmagnaðir túrbósameindadæla (1600 L/s).
Mælar:Samsett Pirani, kalt bakskaut og Baratron rýmd þrýstimælir.
Valving:Pneumatic hlið og horn lokar með vélbúnaðaröryggislæsingum.
Uppgufunarefni og undirlagssamhæfi
Oxíð:SiO2, Ta2O5, TiO2, Nb2O5, Al2O3
Flúoríð:MgF2, LaF3
Málmar:Au, Ag, Al, Ti, Cr
Undirlag:Brædd kísil, BK7, kísilskífur, germaníum, sinkseleníð (ZnSe) og hitaþolið pólýímíð.
Umsóknir
Nákvæmni ljósfræði:Mjóbandssíur og DWDM húðun sem krefst stöðugra miðbylgjulengda.
Laser ljósfræði:Hár-skemmdir-þröskuldar og endurskinsvörn.
Hálfleiðari og ljóstækni:Dielectric hlífðarlög, passivation, og sjónbylgjuleiðarar.
Sólarorka:Gegnsætt leiðandi oxíð (TCO) tengi breyting.
Sérsniðin
Hólfstærð:Skalanleg þvermál frá 600 mm til 1200 mm.
Upprunauppsetning:Allt að þrjár e-geislabyssur og margar varmagjafar á hvern vettvang.
Í-Situ mælifræði:Breiðbands sjónvöktun (BOM) eða kvarskristal örjafnvægi (QCM) samþætting.
Sjálfvirkni:Hleðsluviðmót vélrænna undirlags í samræmi við SEMI staðla.
Gæðaeftirlit
Lekaleit:Helium massagreiningarprófun í hvert hólf (næmi<= 1 x 10^(-10) Pa*m^3/s).
Uppruni íhluta:Tier-1 iðnaðar vörumerki (Inficon, MKS, Edwards, Siemens).
Verksmiðjusamþykki (FAT):72 klst samfelld þurrkeyrsla og sannprófunarhúð sem mælir brotstuðul og einsleitni fyrir sendingu.
Uppsetning og tækniaðstoð
Skjöl:Heill enskur pakki þar á meðal rafmagnsteikningar, P&ID skýringarmyndir og PLC frumkóða.
Vettvangsþjónusta:Keykey uppsetning, kvörðun í lofttæmi og stillingar uppskrifta af verkfræðingum forrita.
Fjargreining:Örugg VPN-eining fyrir hugbúnaðar- og ferli bilanaleit.
Algengar spurningar
Sp.: Hvernig breytir jónahjálp oxíðbrotstuðul?
A: Öflug jónasprengja rekur fastar leifar af lofttegundum út og þéttar örbygginguna og færir brotstuðul kvikmynda eins og Ta2O5 og TiO2 nær magngildum.
Sp.: Hvað er dæmigert viðhaldstímabil fyrir jónagjafann?
A: Viðhaldsbil er á bilinu 150 til 300 vinnslustundir, allt eftir vinnslulofttegundum og rekstrarafli.
Sp.: Getur þetta kerfi stjórnað hvarfgjarnum gasferlum?
A: Já. Óháðir massaflæðisstýringar dæla hvarfgjörnum lofttegundum (O2, N2) beint inn í jónagjafann og hólfasvæðin, samtengd með öryggisþrýstirofum.
maq per Qat: jóngeislastuddur uppgufunarbúnaður, Kína framleiðendur, birgja, verksmiðju
