Iðnaðar-tæmihúðunarkerfi sem samþættir segulstraumspúttingu (RF/DC/HiPIMS) og uppgufun á kaþódískum boga. Hannað fyrir samfellda, fjöl-laga, álfelgur og nanó-samsett þunnt-filmuútfelling á framleiðslukvarða.
Tæknilýsing
|
Parameter |
Forskrift Gildi |
|
Fullkominn lofttæmiþrýstingur |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Turbo-molecular and roots-rotary pump configuration) |
|
Stærðir kammers |
Sérsniðin stærð frá D 600 mm x 600 mm til D 1500 mm x 1500 mm (304/316L raf-slípað ryðfrítt stál) |
|
Útfellingarheimildir |
Stillanlegt: 2-6 segulróna sputtering bakskaut / 2-4 bogagjafar |
|
Substrate Bias Power |
0 til -1000 VDC stillanleg (púlsandi DC fyrir rafvirkt undirlag) |
|
Samræmd filmuþykkt |
<= +/- 3% across standard planar holder (via dynamic planetary rotation) |
|
Hitastig undirlags |
Umhverfi í 650 gráður (+/- 2 gráðu PID lokað-lykkjustýring) |
|
Rafmagnsdreifing |
RF (13,56 MHz), DC, Pulsed DC og Mid-Tíðni (MF) með bogabælingu |
Helstu eiginleikar
Tvöföld-tæknisamþætting:Sameinar sputtering (sléttar, formlausar samsettar kvikmyndir) og kaþódískan boga (mikil-jónun málms/blendiútfellingar) í einni dælu-niðurlotu.
Gasstjórnun með lokuðum-lykkju:Massflæðisstýringar (MFC) pöruð við ljóslosunarvöktun (OEM) koma á stöðugleika hvarfgjarns gashlutþrýstings.
Vélræn einangrun:Multi-ása plánetudrif einangra vélrænar legur frá vinnslusvæðinu og koma í veg fyrir agnamengun.
Varma arkitektúr:Tvöfaldir-veggir vatns-kældir hólfsveggir og geislavörn koma í veg fyrir varmaröskun við há-afl.
Sjálfvirknikjarni:Siemens S7-1500 PLC og WinCC SCADA arkitektúr fyrir rauntíma samlæsingu, gas og aflvöktun.
Vacuum System Configuration
Roughing lest:Beint-drifnar snúningsdælur með Roots blásara með segulmagnaðir vökvaþéttingar.
Hátt tómarúm:Segulmagnaðir túrbó-sameindadælur (1200 - 3200 L/s) eða frostdælur.
Greining:Innbyggt Helium massarófsprófunartengi og sjálfvirkar raðgreiningartengingar.
Efni og undirlagssamhæfi
Markefni:
Málmar:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, TiAl, CrAl, Si
Keramik/efnasambönd:TiN, CrN, TiAlN, DLC, Al2O3, SiO2
Undirlag:Verkfærastál (H13, M2, karbíðinnlegg), títan/ál burðarblendi, verkfræðilegt keramik og kísilskífur.
Forrit og sannaður árangur
Skurðarverkfæri:Lágur-núningur, hár-harka fjöl-laga húðun (TiAlN/TiN) fyrir lengri endingu verkfæra við þurra-háhraða vinnslu.
Bílar:Slit og andstæðingur-rífandi húðun fyrir stimplahringi og eldsneytisinnspýtingarpinna.
Aerospace:Oxunarþolnar -varmahindranir og hlífðarfilmur á þjöppublöðum og festingum.
Ljósfræði og rafeindatækni:Leiðandi gagnsæ oxíð (ITO) og sjóntruflunarsíur.
Sérstillingarvalkostir
Hólf rúmfræði:Rétthyrndar kassastillingar fyrir hleðslu í lotu rekki eða sívalur innbyggður rúmfræði.
Endurnýjun heimilda:Skiptanlegir bakskautsfestingarflansar fyrir umbreytingu á sviði í CFUBMS.
Plasma æting:Kaufmann-jónabyssur eða holar bakskautgjafar til að hreinsa undirlag á-stað.
Gæðaeftirlit og verksmiðjuprófun
Tómarúmsheilleiki:Helium lekaprófunarþröskuldur<= 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.
Yfirborðsfrágangur:Innri suðu í hólfinu rafhlaðnar-við Ra<= 0.4 um.
FEIT:72-klst. samfellt þurrkeyrslupróf á lofttæmi, hreyfingu og öryggislykkjum fyrir rimlakassa.
Fylgnistaðlar:Byggt samkvæmt CE vélatilskipunum og ISO 9001 stöðlum. (Traust Badge Icons: ISO 9001, CE, UL)
Uppsetning og tækniaðstoð
Skjalasafn:P&ID skýringarmyndir, raflagnaskýringar, PLC uppspretta rökfræði og CE/UL samræmisskjöl.
Gangsetning:Vettvangsverkfræðingar hafa umsjón með vélrænni staðsetningu, tengingum veitubúnaðar og sannprófun á lekaskoðun.
SAT & Uppskriftaafhending:Á-grunnprófun á staðnum og fínstillingu uppskrifta.
Algengar spurningar
Sp.: Hver er tími dælunnar-til grunnþrýstings?
A: Nær <5,0 x 10^-4 Pa innan 45 mínútna við hreinar, þurrar og umhverfishitaskilyrði.
Sp.: Getur kerfið skipt á milli DC- og RF-sputtering í miðju-ferli?
A: Já. Kraftfylki gerir hugbúnaðar-stýrða raðgreiningu milli DC, púlsjafnstraums og RF án þess að rjúfa lofttæmi.
Sp.: Hvaða tól eru nauðsynleg á-síðunni?
A: Kælt vatn (15 til 20 gráður við 0,3 til 0,4 MPa), þjappað loft (0,6 MPa), há-ferlislofttegundir (Ar, N2, O2 við 99,999%) og sérstakt 3-fasa iðnaðarafl.
Sp.: Hvernig er undirlagshiti stjórnað við útfellingu?
A: Innbyggðir innrauðir hitamælar ásamt geislahitara og PID lokaðri-lykkjustýringu.
maq per Qat: pvd samsett þunnfilmukerfi, Kína pvd samsett þunnfilmukerfi framleiðendur, birgjar, verksmiðju
