Þessi iðnaðar PVD samsetta tómarúmútfellingarvettvangur samþættir margar útfellingaraðferðir í umhverfi í einu hólfi til að setja samræmdar, fjöl-laga þunnfilmur úr málmi, málmblöndur eða rafdrifnar rafhlöður. Staðlaðar arkitektúrar taka við lotuvinnslu fyrir undirlag allt að 400 mm x 400 mm, með sérsniðnum rúmfræði hólfs í boði fyrir rúllu-til-rúllu eða þrívíddar íhluta meðhöndlun.

Tæknilýsing

Parameter	Forskriftarstaðall	Valfrjáls uppfærsla / sérsniðið úrval
Fullkominn grunnþrýstingur	< 5.0 x 10^-5 Pa	< 1.0 x 10^-6 Pa (Cryopump configuration)
Dæla-Niðurtími	< 15 min (To 1.0 x 10^-3 Pa)	Niður í 8 mínútur með turbo-sameindasamþættingu
Kammerefni	304L ryðfríu stáli (raf-fáður)	316L ryðfrítt stál / innri hlífðarfóður
Stærð undirlagsbúnaðar	300 mm x 300 mm flatt burðarefni	Allt að 600 mm þvermál eða sérsniðin plánetudrif
Samræmd kvikmynd	+/- 3% yfir staðlað undirlagssvæði	+/- 1.5% með fínstilltri grímu og snúningi undirlags
Útfellingarheimildir	2 x Hitauppgufun + 2 x Magnetron sputtering	Allt að 6 blandaðar-uppsprettustillingar (RF/DC/Thermal)
Aflgjafi	DC: 5kW; RF: 13,56MHz, 3kW	Púlsandi jafnstraums- og meðal-frequency (MF) rafala

Helstu eiginleikar

Multi-upprunasamþætting:Sameinar varmauppgufun og segulómasputtering í einni dælu-niðurlotu, kemur í veg fyrir tengioxun og dregur úr meðhöndlunartíma.

Lokað-lykkjaþykktarstýring:Tengjast beint við kvarskristal örjafnvægisskynjara (QCM) og sjónskjákerfi til að stjórna útfellingarhraða í rauntíma.

Modular Chamber Architecture:Flansgöng gera kleift að endurnýja viðbótaruppgufunargjafa eða jónabyssur fljótt án þess að endurvinna- aðalklefann.

Hæfni undirlagshlutdrægni:RF/DC hlutdræg aflgjafar veita jónasprengjuhreinsun fyrir útfellingu, sem eykur filmuviðloðun á erfiðu málmi og keramik undirlagi.

Sjálfvirk ferli röðun:PLC-stýrð uppskriftarstjórnun stjórnar hliðarlokum, massaflæðisstýringum (MFC), aflhringingu og lokunarvirkjun til að koma í veg fyrir breytingar af völdum stjórnanda-.

Vacuum System Configuration

Tómarúm undirkerfið er byggt upp til að lágmarka hringrásartíma og takast á við losunarálag frá ýmsum upprunaefnum:

Gróf- og rótardælur:Þurrskrúfudælur koma í veg fyrir hættu á-olíustraumstreymi og uppfylla kröfur ISO Class 4 fyrir hreinherbergi.

Hár-tæmisdælur: Combination of magnetically levitated turbo-molecular pumps (slot speed >= 1600 L/s) og valfrjálsar frostdælur fyrir mikla-vatnsgufudælu.

Þrýstivöktun:Tvöfalt-sviðsmælistillingar (Pirani-mælar fyrir grófgerð; Jónunar-/Penning-mælar fyrir mikið lofttæmi) samtengdir öryggisventlum til að koma í veg fyrir mengun í andrúmslofti þráða.

Lekaleit:Helíumleki-kannaður að þröskuldi < 1,0 x 10^-9 Pa·m^3/s áður en verksmiðju samþykkt.

Uppgufunarefni og undirlagssamhæfi

Uppgufunarefni:
Málmar:Al, Cu, Ti, Cr, Ni, Au, Ag, Pt.

málmblöndur:NiCr, TiAl, ryðfrítt stál skotmörk.

Rafmagn / oxíð:SiO2, TiO2, Al2O3, ITO (með hvarfgjarnri sputtering eða rafeindageislasamþættingu).

Samhæfni undirlags:
Hálfleiðaraplötur:Kísill, GaAs allt að 300 mm.

Optískt undirlag:Optískt gler, kvars og safír linsur.

Verkfræðiplast:PI, PET, PC með lágum-hitastjórnun.

Málm undirlag:Málmþynnur og stimplaðir málmíhlutir.

Umsóknir

Ljóstækni:Útfelling gagnsæra leiðandi oxíða (ITO) og and-endurskinsfjölda-laga fyrir snertiskjái og skynjaraglugga.

Rafeindatækni:Myndun óómskra snertinga og hindrunarlaga með litlu-viðnámi á sílikon og breitt-bandgap hálfleiðara hvarfefni.

Hagnýtur húðun:Notaðu -þolna og skrautlega málmhúðun á iðnaðarfestingum, lækningaígræðslum og neytendabúnaði.

Sérstillingarvalkostir

Búnaðarstillingar eru aðlagaðar að sérstökum framleiðsluþvingunum:

Hólfstærð:Stækkað frá R&D bekkjareiningum (400 mm teningur) til framleiðslukerfa með mikla-afkastagetu (1200 mm sívalur/kassahólfa).

Hlaða-Lássamþættingu:Einfaldar-handvirk hleðsla eða tvískiptur-hólfahleðsla-lásstillingar til að viðhalda mikilli lofttæmisheilleika á aðalútfellingarsvæðinu meðan á stöðugum hleðslulotum stendur.

Hitastjórnun:Vatns-kæld, hituð undirlagsþrep (allt að 600 gráður) eða kæliborð fyrir undirlag sem eru undirlagskæling.

Stýriviðmót:Samþætting við verksmiðju SCADA eða MES netkerfi með SECS/GEM eða Modbus TCP samskiptareglum.

Gæðaeftirlit og verksmiðjuprófun

Sérhver eining gengst undir stranga sannprófun fyrir sendingu:

Tómarúmsheilleikapróf:48 klst samfelld helíum massarófsmælir lekagreiningarúttekt.

Rafmagnsöryggispróf:Einangrunarviðnám, rafmagnsþol og samfelluprófun á jarðtengingu í samræmi við CE/UL öryggistilskipanir.

Hagnýtur þurrhlaup:72 tíma samfelld sjálfvirk hjólreiðar á öllum vélrænum shutters, massaflæðisstýringum og aflgjafa.

Samþykkt ferli:Verksmiðjusamþykktarpróf (FAT) framkvæmt með því að nota-tilgreind markmið viðskiptavinar til að sannreyna stöðugleika útfellingarhraða og einsleitni þykktar.

Uppsetning og tækniaðstoð

Skjalapakki:Heill verkfræðileg afhending þar á meðal P&ID skýringarmyndir, rafmagnsteikningar, PLC upprunarökfræðiarkitektúr og notendaviðhaldshandbækur.

Í notkun á-stað:Þjónustuverkfræðingar á vettvangi hafa umsjón með búnaði, tengingum fyrir hreinherbergi, sannprófun á veitum (kælivatni, CDA, rafmagni) og staðsetningarprófun (SAT).

Þjálfun rekstraraðila:Skipulagðar hendur-í þjálfun sem nær yfir reglubundið viðhald, bilanaleit í lofttæmi og uppskriftaklippingu fyrir vinnslufræðinga.

Framboð á varahlutum:Mikilvægar íhlutir (innsiglissett, hlífðarfóðringar, þræðir, QCM kristallar) á lager til að senda beint.

Algengar spurningar

Sp.: Hvert er hámarkshiti undirlagsins sem næst í stöðluðu útfellingarferli?

A: Án virkra undirlagskælingar eða upphitunar hækkar geislun frá varmauppgufunargjöfum venjulega hitastig undirlagsins um 30 til 50 gráður. Vatns-kældir undirlagshaldarar eru fáanlegir til að halda undirlagshitastigi undir 40 gráðum fyrir hita-næmar fjölliðafilmur.

Sp.: Getur kerfið skipt á milli hvarfgjarnrar sputtering og hitauppgufun innan sömu hlaups?

A: Já. PLC uppskriftastjórinn samhæfir gasinnspýtingu í gegnum massaflæðisstýringar (td O2 eða N2 fyrir hvarfgjörn ferli) samhliða virkjun aflgjafa fyrir sputtering bakskaut og straumhækkun fyrir varmabáta, sem gerir fjöl-laga stöflun kleift að rjúfa lofttæmi.

Sp.: Hvaða gagnsemiskröfur eru nauðsynlegar fyrir staðlaðar hólfastillingar?

A: Standard requirements include 3-phase 380V/480V AC (+/- 10%), 50/60Hz; clean dry air (CDA) at 0.5 to 0.7 MPa for pneumatic valves; chilled cooling water supply (>= 30 l/mín. við 15 til 20 gráður); og staðbundin útblástur fyrir útblástursdælur.

Sp.: Hvernig er-víxlmengun stjórnað á milli mismunandi uppgufunargjafa?

A: Hver uppspretta staða er með einstökum lofthlerum og líkamlegum innri hlífðarböflum. Milli-uppsprettubil og stefnubundin hlífðarvörn koma í veg fyrir að efni-flæðir yfir á aðliggjandi uppsprettur við sam-uppgufun eða í röð fjöl-efniskeyrslu.

maq per Qat: pvd samsettur tómarúmútfellingarbúnaður, Kína pvd samsettur tómarúmútfellingarbúnaður framleiðendur, birgjar, verksmiðju