Þunnfilmubúnaður fyrir kaþódíska boga

Líkamleg gufuútfelling (PVD) kerfi sem notar staðbundna lágspennu-straumsboga til að gufa upp föst bakskautsmarkmið í fulljónað plasma. Hátt jónunarhlutfall (40%-80%) knýr þétta atómtengingu- og mikla þrýstiálag, sem gerir-hraða útfellingu slitþolinnar og skrautlegrar húðunar á háhraða stáli (HSS), karbítskurðarverkfærum, bílaíhlutum og lækningatækjum kleift.

Mikil jónunarvirkni:Plasmajónunarhraði nær 40%-80%, sem tryggir betri viðloðun filmu-við undirlag.

Mát bakskaut:Fljótleg-breyting á miðasamsetningu lágmarkar stöðvun viðhalds; samhæft við flatar og snúanlegar sívalur bakskaut.

Lokað-gasstýring með lykkju:MKS massaflæðisstýringar viðhalda nákvæmum hlutþrýstingi hvarfgjarns gass fyrir samsettar kvikmyndir (TiAlN, TiCN).

Fjölás plánetusnúningur:Sérsniðin snúnings- og snúningsdrif tryggja einsleitni þykktar (±5%) yfir flóknar þrívíddar rúmfræði.

Tvöföld-hamsaðgerð:Styður uppgufun jafnstraumboga og pulsed bias sputtering samþættingu fyrir fjöl-laga arkitektúr.

Grófunardælur:Samsetning rótar- og snúningsdælu fyrir hraða dælu-niður úr andrúmslofti í 10 Pa.

Hátæmisdæla:Segulmagnaðir túrbósameindadæla (1600–3200 L/s) sem tryggir kolvetnis-lausan grunnþrýsting.

Lokar og mælingar:Pneumatic há-tæmilokar með Pirani og köldu bakskautsjónunarlokum til að koma í veg fyrir að olía streymi aftur.

[Sjónræn handbók fyrir vefframleiðanda]:Settu inn skýra eða skýra mynd af lofttæmandi pípuskipulagi, auðkenndu túrbósameindadælu og pneumatic hliðarloka staðsetningu.

Staðlað bakskautsmarkmið (hreinleiki meiri en eða jafnt og 99,95%)
Umbreytingarmálmar:Ti, Cr, Zr, Al, TiAl (50/50, 33/67 atómhlutföll), CrAl, W, Nb, Si.

Málblöndur og efnasambönd:Grafít (fyrir DLC millilög), ryðfríu stáli.

Undirlagssamhæfi og formeðferð.-
Efni:WC-Snyrtiverkfæri, skurðarvélar, spúar, stimplingar, sprautumót, títan málmblöndur (5. flokkur) og ryðfríu stáli.

For-Meðferð:Ultrasonic leysiefnishreinsun og jónasprengjuhreinsun á -stað (Ar⁺ plasmaæting) inni í hólfinu fyrir útfellingu.

Skurðar- og mótunarverkfæri:TiN, TiAlN og AlCrN húðun sem hækkar hörku yfirborðs í 3000–3500 HV, bæla niður varma gíga og slit.

Bílaíhlutir:Núnings-minnkandi húðun fyrir stimplahringi, eldsneytissprautupinna og gíríhluti.

Læknisfræðilegar ígræðslur:Lífsamhæfð TiN og ZrN hörð húðun á bæklunarliðaskiptum og skurðaðgerðarskrúfum.

Skreytt vélbúnaður:Framleiðsla á litróf (gull kopar, rósagull, byssumálmur svartur, títan grár) með viðbragðsgasstillingu.

Hólf rúmfræði:Lóðrétt hleðsla (hola-uppsett eða gólf-standandi) eða lárétt-framhleðslustillingar.

Uppruni uppsetningar:Síaðir kaþódiskar boga (FAC) segulmagnaðir rásargjafar til að útrýma stórögnum fyrir sjón- eða nákvæmni rafeindatækni.

Sjálfvirkni:Vélfærafræðilegir hleðsluarmar, AGV tengikví samþætting og MES gagnaskráningarreglur.

Lekaleit:Helium massarófsmælirprófun á öllum hólfum og suðusaumum (Minna en eða jafnt og 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s).

Rafmagnsöryggi:Há-einangrunarviðnám, samfellu jarðtengingar og PLC samlæsingar virk sannprófun.

Reynsluhlaup (FAT):72-klst. samfelld þurrkunarpróf-ásamt venjulegu húðútfellingarprófi metið með Calo-prófi (þykkt) og rispuprófara (viðloðun).

Skjalapakki:Rafmagnsteikningar, P&ID skýringarmyndir, PLC frumkóðar, efnisvottorð og FAT skýrslur.

Undirbúningur síða:Ítarlegar útlitsteikningar, kælivatnsmælingar og rafdreifingarforskriftir gefnar 4 vikum fyrir sendingu.

Gangsetning:Vélræn samsetning- á staðnum, kvörðun í lofttæmi og afhending uppskrifta af yfirverkfræðingum.

Þjálfun:Handvirkar-leiðbeiningar sem fjalla um viðhald á vélbúnaði, bilanaleit í lofttæmi og öryggisreglur.

Stuðningur:Samþætting fjargreiningarhugbúnaðar fyrir-rauntíma PLC bilanaleit, studd svæðisbundnum varahlutabirgðum.