Arc Vaporation Thin Film System

Industrial Cathodic Arc Vaporation Thin Film System er hannað fyrir háa-útfellingu á þéttri, sterklega viðloðandi málmhúð, málmblöndu og keramikblöndu. Kerfið starfar með lágri-spennu, mikilli-straumbogaútskrift á föstum bakskautsmarkmiðum, og gufar efni beint í mjög jónað plasmaástand (40% - 80% málmjónahlutfall). Þetta keyrir kraftmikla jónir inn í undirlagsviðmótið, sem framleiðir yfirburða viðloðun við húðina samanborið við venjulegar varmauppgufun eða hefðbundnar sputteringaðferðir.

Kerfið er byggt fyrir framleiðsluumhverfi og háþróaðar efnisrannsóknarstöðvar og setur hörðum, slitþolnum- ættbálkum-eins og TiN, TiAlN, CrN og AlCrN-á skurðarverkfæri, mótarmót og nákvæma vélræna íhluti. Eininga lofttæmishólfið rúmar skalanlegar fjöl-bakskautsstillingar og sjálfvirkan 3-ása plánetu snúning til að tryggja endurtekningarhæfni lotu-í lotu.

Magnetic-Stýribakskautstækni:Lokuð-segulsvið sópa bakskautsblettinum yfir markyfirborðið, hækkar nýtingarhlutfall markmiðsins um yfir 55% og bæla niður staðbundinn markgíg.

Hár jónunarhraði Plasm Myndar málmjónahlutföll allt að 80%, sem veitir mikla hreyfiorku fyrir þéttan filmuvöxt og djúpa málmvinnsludreifingu á viðmóti undirlagsins.

Forritanleg fjöl-lagsútfelling:Iðnaðar PLC ásamt HMI stjórnunararkitektúr framkvæmir sjálfvirka raðgreiningu hvarfgjarnra lofttegunda (N2, O2, C2H2) fyrir hagnýtan halla og nanólagða húðunararkitektúr.

Í-Situ Plasma Etching:Sameinar málmjónasprengjuárás og ójafnvægi segulrónahreinsunarstig fyrir útfellingu til að fjarlægja innfædd oxíð og yfirborðsmengun.

Tómarúmsundirkerfið er hannað fyrir hraðvirkt-dælukerfi og stöðugan rekstrarþrýsting við stöðugt hvarfgjarnt gasinntak:

Gróf- og rótarstig:Bein-knúin snúnings- eða þurrskrúfudæla pöruð við Roots blásara, tæmir hólfið úr andrúmsloftsþrýstingi í 10 Pa innan 5 mínútna.

Hátómastig:Túrbósameindadæla með segulsviði sem skilar háum rúmmálsdæluhraða fyrir vatnsgufu og leifar lofttegunda, sem tryggir grunnþrýstingsmarkmið undir 5,0 x 10^-4 Pa.

Lokar og mælingar:Pneumatic hliðarlokar og raf-loftstýrðir hornlokar samþættir Pirani/Penning samsettum mælum fyrir alla-línu fyrir sjálfvirkar öryggislæsingar.

Þrýstireglugerð:Endurgjöf með lokaðri-lykkju rýmd þrýstimælis tengdur við há-nákvæmni massaflæðisstýringar (MFC) til að koma á stöðugleika hvarfgjarns gashlutþrýstings meðan á hvarfgjarnri útfellingu stendur.

Markefni
Hreinir málmar:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, W, Nb.

Alloy Targets:TiAl (50/50, 33/67), TiSi, CrAl.

Kolefni:Grafítmarkmið fyrir demanta-eins og kolefni (DLC) blendingsútfellingu.

Samhæfni undirlags
Harðmálmar / Sementuð karbíð:WC-Samanskurðarinnlegg, endafræsir og formverkfæri.

Háhraðastál (HSS):Krönur, sprautuborar og bröndur.

Verkfræði stál:Ryðfrítt stál, títan málmblöndur og há-nikkel-undirstaða ofurblöndur.

Byggingarkeramik:Súrál og sílikonnítríð íhlutir sem þarfnast ættbálkabreytinga.

Skurðar- og vinnsluverkfæri:Útfelling TiAlN og AlCrN húðunar á karbíð innlegg til að hækka oxunarþol allt að 900 gráður C og lengja endingu verkfæra við háhraða þurrklippingu.

Bílaíhlutir:Harð húðun á stimplahringum, ventlalyftum og bensínsprautupinnum til að draga úr núningsstuðlum á mörkum undir 0,1 og koma í veg fyrir rispur.

Mót og mót:Notkun CrN og TiCN kvikmynda á plastsprautumót og málmstimplunarmót til að koma í veg fyrir slit á lími og efni sem rífur.

Flugvélbúnaður:Hlífðar rofþolnar-húðanir á nákvæmni festingum og þjöppuhlutum sem starfa í ætandi umhverfi.

Hólf rúmfræði:Lóðrétt hleðsluhurð í-stíl eða lárétt fram-hleðsluhurð sem er sérsniðin að verslunar-gólfskipulagi.

Hybrid Source samþætting:Tvöfaldar-tæknistillingar sem sameina kaþódískar bogauppgufunartæki með ójafnvægi segulómsputting (UBMS) bakskautum eða línulegum jónabyssum.

Sjálfvirknistig:Verksmiðjusamþættingarvalkostir, þar á meðal sjálfvirkir vélfærafræðilegir hleðsluarmar eða veggfesting á hreinherbergi.

Rafeindatækni:Sérsniðnir pulsed bias rafallar sem eru fínstilltir fyrir einangrandi undirlag eða hita-viðkvæm grunnefni.

Lekaleit:Lekaprófun á helíummassalitrófsmæli er framkvæmd á öllum lofttæmishólfum og suðusaumum, sem heldur heildarlekahraða undir 1,0 x 10^-9 Pa*m^3/s.

Rafmagnsöryggisúttekt:Einangrunarviðnám og samfelluprófun á jarðtengingu í samræmi við CE og rafmagnsöryggisstaðla.

Hagnýtur þurrhlaup:72 tíma samfellt sjálfvirkt þurrkunarpróf á vélrænum snúningsdrifum, ventlaröðun og kælivatnsflæðistengingum.

Ferli sannprófun (FAT):Valfrjáls útfelling á viðmiðunar-TiN húðun á -prófunarmiða sem viðskiptavinir fá til að sannreyna einsleitni filmuþykktar, nanó-hörku og klóraviðloðun fyrir rimlun.

Leiðbeiningar um undirbúning vefsvæðis:Ítarleg verkfræðileg skjöl fyrir aðstöðuna sem fjalla um hleðslumörk á gólfi, útblástursrásir, forskriftir fyrir kælt vatn og rafmagnsdropa afhent 4 vikum fyrir afhendingu.

Á-koma í notkun:Þjónustuverkfræðingar á vettvangi hafa umsjón með vélrænni staðsetningu, tengingum fyrir veitur, lofttæmiþéttingu og rafmagnssamþættingu.

Ferlaþjálfun:Hjálpar-þjálfun stjórnenda sem nær til viðhalds á hólfinu, samskiptareglum fyrir markskipti, bilanaleit í tómarúmi og stjórnun uppskrifta.

Fjargreining:Örugg iðnaðar VPN gátt innbyggð í stjórnskápinn fyrir fjarlægar hugbúnaðaruppfærslur, greiningu á færibreytum og bilanagreiningu.