Lýsing á búnaði:
· Búnaðarkynning:
Tómarúmmálmunarbúnaður samþykkir tvöfalda hólfa uppbyggingu hönnunar, vinnsluhólf + hleðslu- / affermingarhólf, sem ER fullkomin samþætting áreiðanleika vinnslu og skilvirkni vinnslu. Tómarúmmálmunarbúnaður er búinn háorku Ionbeam hreinsunargjafa, nokkrum settum af Magnetron Sputtering Source og áreiðanlegu servó rafsegulknúningskerfi, tómarúmmálmunarbúnaður er mjög mát, stöðugur, auðvelt í notkun og auðvelt að viðhalda.
· Kostir búnaðar:
Express Modular alhliða tengi, beint samhæft við mismunandi gerðir bakskautsmarkmiða, leyfa DC púls, millitíðni, RF vinnuham, sterka eindrægni;
express Sérhannað segulsvið og vinnslugasleið, bæta á áhrifaríkan hátt markmiðsnýtingarhraða og-ferilsstöðugleika til lengri tíma;
Express Tvöfalt hólfsbyggingarhönnun, ekki aðeins til að tryggja stöðugleika og samkvæmni ferlisins, heldur einnig til að stytta for-meðhöndlunartímann til muna, bæta framleiðslu skilvirkni;
express Hið sjálf-hönnuðu sjálfvirka snjalla vinnslustýrikerfi býður upp á yfirgripsmikla og þægilega vinnsluformúluvinnslu og hringingarmöguleika, búin eftirlitskerfi með rauntíma-ferlisbreytum, sem gerir fjarstýringu á netinu kleift.
Umsóknarreitur:
express Hægt að húða Au, Ag, Ir, Re, Pt, Ta, Ti, Cu, Cr, Ni og aðra málma og efnasambönd þeirra;
express Hægt að nota í rafeindaíhlutum, sólarsellum, háþróaðri-framleiðslu, segulmynda-ljósupplýsingageymslu og öðrum sviðum.
Húðunartegund:
|
Húðun gerð |
Filmuþykkt (μm) |
Umsóknarreitur |
|
Au,Ag,Ir,Re,Pt,Ta,Cr o.s.frv |
0.5-10 |
Rafrænir íhlutir, sólarsellur, hágæða-framleiðsla, segulmagn-optísk upplýsingageymsla o.s.frv. |
maq per Qat: tómarúmmálmunarbúnaður, framleiðendur, birgjar, verksmiðja, framleiðendur tómarúmmálmunarbúnaðar í Kína
